[实用新型]一种用于晶片切割工具检测的夹持机构有效

专利信息
申请号: 202021163901.X 申请日: 2020-06-19
公开(公告)号: CN213004787U 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 罗爱斌;陈章水;宾启雄;周铁军;叶水景;严卫东 申请(专利权)人: 广东先导先进材料股份有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;黄华莲
地址: 511517 广东省清*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 晶片 切割 工具 检测 夹持 机构
【权利要求书】:

1.一种用于晶片切割工具检测的夹持机构,其特征在于,包括滑轨和夹紧组件,所述夹紧组件包括两组对称布置用于周向夹紧轮轴的夹具,所述夹具滑动设置于所述滑轨上,所述夹具包括滑动支架以及转动安装于所述滑动支架的第一旋转件和第二旋转件,所述第一旋转件的旋转轴和第二旋转件的旋转轴平行。

2.根据权利要求1所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构,其特征在于,所述滑动支架包括滑块以及连接于所述滑块上的支撑杆,所述滑块滑动连接于所述滑轨,所述第一旋转件和第二旋转件转动连接于所述支撑杆上。

3.根据权利要求2所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构,其特征在于,所述第一旋转件和第二旋转件均包括同轴布置的滚轮和槽轮,所述槽轮圆周侧开设有环形凹槽。

4.根据权利要求3所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构,其特征在于,所述滑块上安装有复位组件,所述支撑杆通过所述复位组件与所述滑块转动连接并可沿支撑杆的长度方向移动,所述滚轮和槽轮分别设置于所述支撑杆的两侧。

5.根据权利要求4所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构,其特征在于,所述复位组件包括弹簧安装轴和弹簧,所述滑块开设有导向孔,所述弹簧安装轴穿设于所述导向孔,所述弹簧套设于弹簧安装轴外侧并抵接于所述滑块背向所述支撑杆的一侧面,所述支撑杆与所述弹簧安装轴连接。

6.根据权利要求5所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构,其特征在于,所述滑块面向所述支撑杆的一侧面开设有限位凹槽,所述支撑杆靠近所述滑块的第一端与限位凹槽配合以限制支撑杆绕长度方向转动。

7.根据权利要求3所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构,其特征在于,所述环形凹槽的宽度为10-15mm。

8.根据权利要求3所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构,其特征在于,所述滚轮和槽轮表面包覆有聚氨酯层。

9.根据权利要求1所述的用于晶片切割工具检测的夹持机构,其特征在于,所述滑轨为气动滑轨。

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