[实用新型]一种用于晶片切割工具检测的夹持机构

说明书

本实用新型涉及晶片切割技术领域，尤其涉及一种用于晶片切割工具检测的夹持机构，包括滑轨和夹紧组件，夹紧组件包括两组对称布置用于周向夹紧轮轴的夹具，夹具滑动设置于滑轨上，夹具包括滑动支架以及转动安装于滑动支架的第一旋转件和第二旋转件，第一旋转件的旋转轴和第二旋转件的旋转轴平行且不重合。本发明在使用时，两组夹具分别设置于轮轴的两侧，两组夹具通过滑轨滑动相向运动，第一旋转件和第二旋转件与轮轴的圆周面接触，实现对轮轴的夹紧，防止轮轴的检测过程中的晃动，且第一旋转件和第二旋转件转动连接于滑动支架，夹紧轮轴的同时，第一旋转件和第二旋转件可跟随轮轴同步旋转，保证轮轴在检测过程中绕竖直方向转动的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及晶片切割技术领域，尤其涉及一种用于晶片切割工具检测的夹持机构。

背景技术

钢线卷轴和钢线工字轮是半导体晶体生产中的重要设备，在生产之前，必须对钢线卷轴上的线槽进行检视，以防止钢线卷轴轴槽位缺陷(如线槽峰异位、槽峰丢失等)导致在生产过程中出现断线现象造成晶片损失，另外缠绕钢线的工字轮的绕线状况及钢线表面也需要在来料和使用过程中进行检查，避免绕线压线等异常导致生产过程中的断线

目前，由于钢线卷轴和钢线工字轮轴本身重量较大，很难连续翻动，且为了避免钢线卷轴和钢线工字轮轴的圆周面在水平放置时磨损，因此，通常将钢线卷轴和钢线工字轮轴竖直放置，但是竖直放置时连续转动过程中，钢线卷轴和钢线工字轮轴上端容易晃动，影响检测稳定性。

发明内容

本发明的目的是提供能够在轮轴竖直转动过程中夹持轮轴，放置轮轴晃动，提高轮轴在检测过程中的稳定性的一种镜片切割用轮轴定位机构。

为了实现上述目的，本发明提供一种用于晶片切割工具检测的夹持机构，包括滑轨和夹紧组件，所述夹紧组件包括两组对称布置用于周向夹紧轮轴的夹具，所述夹具滑动设置于所述滑轨上，所述夹具包括滑动支架以及转动安装于所述滑动支架的第一旋转件和第二旋转件，所述第一旋转件的旋转轴和第二旋转件的旋转轴平行。

可选的，所述滑动支架包括滑块以及连接于所述滑块上的支撑杆，所述滑块滑动连接于所述滑轨，所述第一旋转件和第二旋转件转动连接于所述支撑杆上。

可选的，所述第一旋转件和第二旋转件均包括同轴布置的滚轮和槽轮，所述槽轮圆周侧开设有环形凹槽。

可选的，所述滑块上安装有复位组件，所述支撑杆通过所述复位组件与所述滑块转动连接并可沿支撑杆的长度方向移动，所述滚轮和槽轮分别设置于所述支撑杆的两侧。

可选的，所述复位组件包括弹簧安装轴和弹簧，所述滑块开设有导向孔，所述弹簧安装轴穿设于所述导向孔，所述弹簧套设于弹簧安装轴外侧并抵接于所述滑块背向所述支撑杆的一侧面，所述支撑杆与所述弹簧安装轴连接。

可选的，所述滑块面向所述支撑杆的一侧面开设有限位凹槽，所述支撑杆靠近所述滑块的第一端与限位凹槽配合以限制支撑杆绕长度方向转动。

可选的，所述环形凹槽的宽度为10－15mm。

可选的，所述滚轮和槽轮表面包覆有聚氨酯层。

可选的，所述滑轨为气动滑轨。

实施本发明的实施例，具有以下技术效果：

本发明在使用时，两组夹具分别设置于轮轴的两侧，两组夹具通过滑轨滑动相向运动，第一旋转件和第二旋转件与轮轴的圆周面接触，实现对轮轴的夹紧，防止轮轴的检测过程中的晃动，且第一旋转件和第二旋转件转动连接于滑动支架，夹紧轮轴的同时，第一旋转件和第二旋转件可跟随轮轴同步旋转，保证轮轴在检测过程中绕竖直方向转动的稳定性。

附图说明

图1是本发明优选实施例的定位机构的结构示意图；

图2是本发明优选实施例的定位机构的剖视图；