[实用新型]一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器

权利要求书

1.一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，其特征是包括振荡级侧泵模块(1)、45°反射镜a(2)、45°反射镜b(3)、半导体可饱和吸收镜(4)、45°反射镜c(5)、1064nm输出镜(6)、光隔离器(7)、声光调制器(8)、聚焦透镜a(9)、45°反射镜d(10)、45°反射镜e(11)、预放侧泵模块(12)、45°反射镜f(13)、聚焦透镜b(14)、45°反射镜g(15)、主放侧泵模块(16)、45°反射镜h(17)、聚焦透镜c(18)、二倍频晶体(19)、三倍频晶体(20)和355nm反射镜(21)，半导体可饱和吸收镜(4)、45°反射镜b(3)、45°反射镜a(2)、振荡级侧泵模块(1)、45°反射镜c(5)、1064nm输出镜(6)、光隔离器(7)、声光调制器(8)、聚焦透镜a(9)、45°反射镜d(10)、45°反射镜e(11)、预放侧泵模块(12)、45°反射镜f(13)、聚焦透镜b(14)、45°反射镜g(15)、主放侧泵模块(16)、45°反射镜h(17)、聚焦透镜c(18)、二倍频晶体(19)、三倍频晶体(20)和355nm反射镜(21)依次按照光路设置。

2.根据权利要求1所述的一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，其特征是所述的振荡级侧泵模块(1)、45°反射镜a(2)、45°反射镜b(3)、半导体可饱和吸收镜(4)、45°反射镜c(5)和1064nm输出镜(6)组成激光谐振腔，输出的皮秒激光经过所述声光调制器(8)调制；然后进入所述预放侧泵模块(12)和所述主放侧泵模块(16)进行放大；所述聚焦透镜将激光聚焦进入所述二倍频晶体(19)、三倍频晶体(20)产生紫外激光；所述355nm反射镜(21)将该紫外激光反出。

3.根据权利要求1所述的一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，其特征是所述45°反射镜a(2)、45°反射镜b(3)、45°反射镜c(5)、45°反射镜d(10)、45°反射镜e(11)、45°反射镜f(13)、45°反射镜g(15)和45°反射镜h(17)均为平面镜，均镀有1064nm的高反膜，反射率为99.99％。

4.根据权利要求1所述的一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，其特征是所述半导体可饱和吸收镜(4)调制深度为0.5％，饱和恢复时间为1ps,非饱和损耗为0.4％。

5.根据权利要求1所述的一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，其特征是所述1064nm输出镜(6)为平面镜，1064nm波长的光的透过率为20％。

6.根据权利要求1所述的一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，其特征是所述光隔离器(7)是在一个方向透光的磁光装置，防止输出的激光返回到振荡级，保证器件的安全和激光的稳定。

7.根据权利要求1所述的一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，其特征是所述声光调制器(8)调制波长为1064nm,有效孔径为2.5cm,调制频率为40.68MHz；所述聚焦透镜a(9)、聚焦透镜b(14)和聚焦透镜c(18)均为凸透镜，两面均镀有1064nm高透膜，焦距为100mm。

8.根据权利要求1所述的一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，其特征是所述聚焦透镜a(9)、聚焦透镜b(14)和聚焦透镜c(18)均为凸透镜，两面均镀有1064nm高透膜，焦距为25mm；所述二倍频晶体(19)为三硼酸锂晶体(LBO)，晶体尺寸为3×3×12mm，两面均镀1064nm和532nm的增透膜；所述三倍频晶体(20)为三硼酸锂晶体(LBO)，晶体尺寸为3×3×20mm，两面均镀1064nm和532nm的增透膜；所述355nm反射镜(21)为45°平面镜，镀有355nm高反膜。