[实用新型]一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器

说明书

一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，其特征是包括振荡级侧泵模块、45°反射镜a、45°反射镜b、半导体可饱和吸收镜、45°反射镜c、1064nm输出镜、光隔离器、声光调制器、聚焦透镜a、45°反射镜d、45°反射镜e、预放侧泵模块、45°反射镜f、聚焦透镜b、45°反射镜g、主放侧泵模块、45°反射镜h、聚焦透镜c、二倍频晶体、三倍频晶体和355nm反射镜。本实用新型提出了一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，采用侧面泵浦模块进行泵浦和放大，实现脉宽＜10ps,功率＞40W的短脉宽、高功率紫外皮秒激光输出。

技术领域

本实用新型属于超快激光技术领域，特别涉及一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器。

背景技术

近年来，超快激光技术迅速发展，皮秒激光器在光通信技术、激光医疗、激光测距和材料加工等领域发挥重要作用。与纳秒激光器相比，皮秒激光器的脉冲宽度更短，穿透力更强，在工业加工中具有热影响区小、对材料损伤极低、无等离子屏蔽效应等优点，引起了社会上的广泛关注。

目前皮秒紫外激光器存在着结构复杂、成本高、单脉冲能量低等问题，因此限制了它在工业加工及其他领域的应用。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种侧面泵浦高功率全固态紫外皮秒激光器，它结构紧凑、易于集成、成本低。

一种侧面泵浦高功率全固态皮秒紫外激光器，包括振荡级侧泵模块1、45°反射镜a2、45°反射镜b3、半导体可饱和吸收镜4、45°反射镜c5、1064nm输出镜6、光隔离器7、声光调制器8、聚焦透镜a9、45°反射镜d10、45°反射镜e11、预放侧泵模块12、 45°反射镜f13、聚焦透镜b14、45°反射镜g15、主放侧泵模块16、45°反射镜h17、聚焦透镜c18、二倍频晶体19、三倍频晶体20和355nm反射镜21，半导体可饱和吸收镜4、 45°反射镜b3、45°反射镜a2、振荡级侧泵模块1、45°反射镜c5、1064nm输出镜6、光隔离器7、声光调制器8、聚焦透镜a9、45°反射镜d10、45°反射镜e11、预放侧泵模块12、45°反射镜f13、聚焦透镜b14、45°反射镜g15、主放侧泵模块16、45°反射镜 h17、聚焦透镜c18、二倍频晶体19、三倍频晶体20和355nm反射镜21依次按照光路设置。

所述的振荡级侧泵模块1、45°反射镜a2、45°反射镜b3、半导体可饱和吸收镜4、45°反射镜c5和1064nm输出镜6组成激光谐振腔，输出的皮秒激光经过所述声光调制器 8调制；然后进入所述预放侧泵模块12和所述主放侧泵模块16进行放大；所述聚焦透镜将激光聚焦进入所述二倍频晶体19、三倍频晶体20产生紫外激光；所述355nm反射镜21 将该紫外激光反出。

所述45°反射镜a2、45°反射镜b3、45°反射镜c5、45°反射镜d10、45°反射镜 e11、45°反射镜f13、45°反射镜g15和45°反射镜h17均为平面镜，均镀有1064nm的高反膜，反射率为99.99％。

所述半导体可饱和吸收镜4调制深度为0.5％，饱和恢复时间为1ps,非饱和损耗为0.4％。

所述1064nm输出镜6为平面镜，1064nm波长的光的透过率为20％。

所述光隔离器7是在一个方向透光的磁光装置，防止输出的激光返回到振荡级，保证器件的安全和激光的稳定。

所述声光调制器8调制波长为1064nm,有效孔径为2.5cm,调制频率为40.68MHz；所述聚焦透镜a9、聚焦透镜b14和聚焦透镜c18均为凸透镜，两面均镀有1064nm高透膜，焦距为100mm。