[实用新型]一种大能量266nm紫外激光器

权利要求书

1.一种大能量266nm紫外激光器，其特征是包括泵浦源(1)、光学耦合系统(2)、端泵后腔镜(3)、第一激光增益介质(4)、第二激光增益介质(5)、12.5°反射镜(6)、45°反射镜(7)、声光调Q开关(8)、532nm分光镜(9)、LBO倍频晶体(10)、全反镜(11)、聚焦透镜(12)、BBO倍频晶体(13)和266nm分光镜(14)；所述的泵浦源(1)发出的激光通过光学耦合系统(2)进入第一激光增益介质(4)内部；所述第二激光增益介质(5)对泵浦光进行二次吸收；所述端泵后腔镜(3)、12.5°反射镜(6)、45°反射镜(7)和全反镜(11)构成激光谐振腔；所述声光调Q开关(8)和LBO倍频晶体(10)在激光谐振腔内；所述532nm分光镜(9)将谐振腔产生的532nm绿光反出；所述聚焦透镜(12)将532nm绿光聚焦进BBO倍频晶体(13)产生266nm紫外激光；所述266nm分光镜(14)将266nm激光反出。

2.根据权利要求1所述一种大能量266nm紫外激光器，其特征是所述泵浦源(1)为中心波长878.6nm的光纤耦合半导体激光器，光纤芯径200um,数值孔径NA＝0.22。

3.根据权利要求1所述一种大能量266nm紫外激光器，其特征是所述光学耦合系统(2)采用聚焦透镜组；所述端泵后腔镜(3)镀有880nm增透膜和1064nm高反膜。

4.根据权利要求1所述一种大能量266nm紫外激光器，其特征是所述12.5°反射镜(6)为平面镜，镀有1064nm高反膜；所述45°反射镜(7)为平面镜，镀有1064nm高反膜。

5.根据权利要求1所述一种大能量266nm紫外激光器，其特征是所述声光调Q开关(8)为融石英晶体，超声波频率80MHz,脉冲调制重复频率为20kHz-250kHz。

6.根据权利要求1所述一种大能量266nm紫外激光器，其特征是所述532nm分光镜(9)镀有1064nm增透膜和532nm高反膜。

7.根据权利要求1所述一种大能量266nm紫外激光器，其特征是所述LBO倍频晶体(10)为三硼酸锂晶体，晶体尺寸为3×3×15mm，两面均镀1064nm和532nm的增透膜。

8.根据权利要求1所述一种大能量266nm紫外激光器，其特征是所述全反镜(11)为平面镜，镀有1064nm和532nm的高反膜；所述聚焦透镜(12)焦距为25mm,两面均镀532nm的增透膜。

9.根据权利要求1所述一种大能量266nm紫外激光器，其特征是所述BBO倍频晶体(13)为偏硼酸钡晶体，晶体尺寸为3×3×12mm，两面均镀532nm和266nm的增透膜；所述266nm分光镜(14)镀有532nm增透膜和266nm高反膜。