[实用新型]一种大能量266nm紫外激光器

说明书

一种大能量266nm紫外激光器，其特征是包括泵浦源(1)、光学耦合系统(2)、端泵后腔镜(3)、第一激光增益介质(4)、第二激光增益介质(5)、12.5°反射镜(6)、45°反射镜(7)、声光调Q开关(8)、532nm分光镜(9)、LBO倍频晶体(10)、全反镜(11)、聚焦透镜(12)、BBO倍频晶体(13)和266nm分光镜(14)。本实用新型提出了一种大能量266nm紫外激光器，采用大能量光纤耦合半导体激光器单端泵浦，双激光增益介质吸收，Z字激光谐振腔，提高了激光器的稳定性，最后实现毫焦级别的266nm紫外激光输出。

技术领域

本实用新型属于固体激光技术领域，特别涉及一种大能量266nm紫外激光器。

背景技术

近年来，266nm紫外激光器凭借着波长短、分辨率高、高光子能量等特点，在很多领域得到广泛应用。如工业材料加工、光存储、环境检测及医疗手术等领域，特别是在工业加工领域，由于266nm紫外激光器聚焦光斑更小，同时单脉冲能量更高，作用于材料上，直接破坏材料的分子键，而不产生热量，使得加工精度得到提高。

目前现有的266nm紫外激光器能量偏低，在进行激光应用的时，无法满足大型的激光生产和加工，有很大的局限性，从而限制了激光应用技术的发展。

实用新型内容

本实用新型提供的一种大能量266nm紫外激光器，用于满足大型的激光生产和加工要求。

一种大能量266nm紫外激光器，其特征是包括泵浦源1、光学耦合系统2、端泵后腔镜3、第一激光增益介质4、第二激光增益介质5、12.5°反射镜6、45°反射镜7、声光调Q开关8、532nm分光镜9、LBO倍频晶体10、全反镜11、聚焦透镜12、BBO倍频晶体 13和266nm分光镜14；所述的泵浦源1发出的激光通过光学耦合系统2进入第一激光增益介质4内部；所述第二激光增益介质5对泵浦光进行二次吸收；所述端泵后腔镜3、12.5°反射镜6、45°反射镜7和全反镜11构成激光谐振腔；所述声光调Q开关8和LBO倍频晶体10在激光谐振腔内；所述532nm分光镜9将谐振腔产生的532nm绿光反出；所述聚焦透镜12将532nm绿光聚焦进BBO倍频晶体13产生266nm紫外激光；所述266nm分光镜14 将266nm激光反出。

所述泵浦源1为中心波长878.6nm的光纤耦合半导体激光器，光纤芯径200um,数值孔径NA＝0.22；

所述光学耦合系统2采用聚焦透镜组；所述端泵后腔镜3镀有880nm增透膜和1064nm 高反膜。

所述12.5°反射镜6为平面镜，镀有1064nm高反膜；所述45°反射镜7为平面镜，镀有1064nm高反膜；

所述声光调Q开关8为融石英晶体，超声波频率80MHz,脉冲调制重复频率为20kHz-250kHz；

所述532nm分光镜9镀有1064nm增透膜和532nm高反膜；

所述LBO倍频晶体10为三硼酸锂晶体，晶体尺寸为3×3×15mm，两面均镀1064nm和532nm的增透膜；

所述全反镜11为平面镜，镀有1064nm和532nm的高反膜；所述聚焦透镜12焦距为25mm,两面均镀532nm的增透膜。

所述BBO倍频晶体13为偏硼酸钡晶体，晶体尺寸为3×3×12mm，两面均镀532nm和266nm的增透膜；所述266nm分光镜14镀有532nm增透膜和266nm高反膜。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型提出了一种大能量266nm紫外激光器，采用大能量光纤耦合半导体激光器单端泵浦，双激光增益介质吸收，Z字激光谐振腔，提高了激光器的稳定性，最后实现毫焦级别的266nm紫外激光输出。

附图说明

图1为本实用新型一种大能量266nm紫外激光器结构示意图。