[实用新型]用于化学气相沉积处理的加热装置

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积处理的加热装置，其特征在于，包括：

壳体，包围限定出腔室；

载具，设于所述腔室中，适于承载被加工件；

加热组件，适于生发热量，以使得所述被加工件的温度升高；

传热组件，设于所述腔室中，适于对来自所述加热组件的热量进行传导。

2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积处理的加热装置，其特征在于，所述传热组件包括：

一个或多个的板状金属传热组件；

其中，所述板状金属传热组件与所述壳体连接。

3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积处理的加热装置，其特征在于，所述加热组件包括：

第一加热组件，设置于所述载具的任一侧；

第二加热组件，设置于所述载具与所述任一侧相对的另一侧。

4.根据权利要求3所述的用于化学气相沉积处理的加热装置，其特征在于，所述传热组件包括：

第一传热组件，设于所述壳体的侧部上；

第二传热组件，设于所述壳体的底部上。

5.根据权利要求3所述的用于化学气相沉积处理的加热装置，其特征在于，所述第一加热组件包括：

一个或多个的板状金属加热组件；

其中，所述板状金属加热组件设于所述腔室中，并与所述壳体连接。

6.根据权利要求3所述的用于化学气相沉积处理的加热装置，其特征在于，所述第二加热组件包括：

一个或多个的管状加热组件；

其中，所述管状加热组件的至少一部分伸入所述腔室，并且所述管状加热组件与所述壳体可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的用于化学气相沉积处理的加热装置，其特征在于，所述管状加热组件包括：

外导热管，包括闭口端和敞口端，并包围限定出外导热管腔；

内加热管，由所述敞口端伸入所述外导热管腔，并向所述闭口端的方向延伸；

其中，所述闭口端伸入所述腔室，所述外导热管腔通过所述敞口端与所述腔室的外部空间连通。

8.根据权利要求7所述的用于化学气相沉积处理的加热装置，其特征在于，还包括：

密封组件；

其中，所述壳体之上设有通孔，所述外导热管通过所述通孔伸入所述腔室，所述密封组件适于密封所述通孔，以使得所述腔室的内部空间与外部空间相互分隔。

9.根据权利要求8所述的用于化学气相沉积处理的加热装置，其特征在于，所述密封组件包括：

法兰盘，环绕所述外导热管的周缘设置；

弹性密封件，设于所述法兰盘和所述壳体之间；

紧固件，适于将所述法兰盘与所述壳体连接，以使得所述弹性密封件封堵所述通孔与所述外导热管之间的间隙。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的用于化学气相沉积处理的加热装置，其特征在于，

所述外导热管包括石英导热管；和/或

所述内加热管包括红外加热管。