[实用新型]一种半导体的测试装置有效
申请号: | 202021166959.X | 申请日: | 2020-06-22 |
公开(公告)号: | CN213210349U | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 王丽雅;俞佩佩;周山 | 申请(专利权)人: | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/04 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 林凡燕 |
地址: | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 测试 装置 | ||
1.一种半导体的测试装置,其特征在于,包括,
基板;
第一固定装置,设置在所述基板上;
第二固定装置,设置在所述基板上,位于所述第一固定装置的一侧,所述第一固定装置通过所述基板内的电路连接所述第二固定装置;
第三固定装置,设置在所述基板上,位于所述第二固定装置远离所述第一固定装置的一侧。
2.根据权利要求1所述的测试装置,其特征在于,所述基板上设置有第一开孔,所述第一开孔的四周设置有防静电软垫。
3.根据权利要求1所述的测试装置,其特征在于,所述第一固定装置包括:
第一卡槽;
多个第一夹具,设置于所述第一卡槽内;
标尺,设置在所述第一卡槽上,所述标尺上设置有刻度线,所述刻度线与多个所述第一夹具位置相对应;
多个第一插针,其一端设置于所述第一卡槽内,另一端延伸出所述第一卡槽,且位于所述第一卡槽内的一端与所述第一夹具连接。
4.根据权利要求3所述的测试装置,其特征在于,所述第一固定装置的两端还设置有对位孔。
5.根据权利要求1所述的测试装置,其特征在于,所述第二固定装置包括:
第二卡槽,包括第一盖板和第一底板,所述第一盖板可转动地连接在所述第一底板上;
第一卡扣,设置在所述第一盖板上;
第一凹部,设置在所述第一底板上,其中,所述第一卡扣与所述第一凹部位置对应;
多个第二夹具,设置于所述第二卡槽内;
多个第二插针,其一端设置于所述第二卡槽内,另一端延伸出所述第二卡槽,且位于所述第二卡槽内的一端与所述第二夹具连接。
6.根据权利要求5所述的测试装置,其特征在于,所述第二固定装置上还设有对位针,所述对位针设置于所述第一底板的两端。
7.根据权利要求2所述的测试装置,其特征在于,所述第三固定装置包括:
第二盖板;
主架,其中,所述第二盖板可转动地连接在所述主架上;
第二卡扣,设置在所述第二盖板上;
第二凹部,设置在所述主架上,其中,所述第二卡扣与所述第二凹部位置对应;
第二开孔,设置在所述第二盖板上;
第三开孔,设置在所述主架上。
8.根据权利要求7所述的测试装置,其特征在于,所述第一开孔、所述第二开孔和所述第三开孔的位置相对应。
9.根据权利要求7所述的测试装置,其特征在于,所述第二开孔的周围设有防静电软垫。
10.根据权利要求7所述的测试装置,其特征在于,所述第一固定装置,所述第二固定装置和所述第三固定装置上分别设置有固定部,通过所述固定部将所述第一固定装置,所述第二固定装置和所述第三固定装置固定在所述基板上。
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