[实用新型]一种靶材背管加工装置有效
申请号: | 202021172790.9 | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN212527085U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 王永超;赵泽良 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | B24B5/40 | 分类号: | B24B5/40;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/16;B24B41/00 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 孔丽丽 |
地址: | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 靶材背管 加工 装置 | ||
1.一种靶材背管加工装置,包括底座(1)、待加工件(2),其特征在于,所述底座(1)的上端固定连接有两个竖板(3),两个所述竖板(3)的上端均开设有放置槽(4),所述待加工件(2)放置在两个放置槽(4)内,所述放置槽(4)的两端内侧壁共同固定连接有两个与待加工件(2)的端部相抵的限位板(23),所述竖板(3)上设有延伸至放置槽(4)内并与待加工件(2)相抵的推动机构,所述放置槽(4)的两端侧壁均设有与待加工件(2)的侧壁相抵的固定机构,所述竖板(3)的侧壁设有与其相对的固定机构相对侧壁磁极相反的限位机构,所述底座(1)的上端设有延伸至待加工件(2)内的打磨机构。
2.根据权利要求1所述的一种靶材背管加工装置,其特征在于,所述推动机构包括开设在竖板(3)的侧壁并与放置槽(4)相互连通的安装槽(5),所述安装槽(5)的内底部安装有气缸(6),所述气缸(6)的伸缩端端部固定连接有弧形托板(7),所述弧形托板(7)延伸至放置槽(4)内并与待加工件(2)的底部相抵。
3.根据权利要求1所述的一种靶材背管加工装置,其特征在于,所述固定机构包括贯穿开设在放置槽(4)侧壁上的连通槽(8),所述连通槽(8)内滑动连接有横板(9),所述横板(9)的上端固定连接有与待加工件(2)的侧壁相抵的弧形固定板(10),所述连通槽(8)的底部开设有导向滑槽(11),所述导向滑槽(11)内滑动连接有与横板(9)的底部固定连接的导向滑块(12),所述导向滑块(12)与导向滑槽(11)的内侧壁之间连接有多个弹簧(13),所述横板(9)的侧壁嵌设有第一磁块(14)。
4.根据权利要求3所述的一种靶材背管加工装置,其特征在于,所述限位机构包括开设在竖板(3)侧壁上的转动槽,所述转动槽内转动连接有转动轮(15),所述转动轮(15)的两端侧壁均固定连接有与其相对的横板(9)的侧壁相抵的L型板(16),所述L型板(16)的侧壁嵌设有与第一磁块(14)相对侧壁磁极相反的第二磁块(17)。
5.根据权利要求1所述的一种靶材背管加工装置,其特征在于,所述打磨机构包括固定连接在底座(1)上端的第一支撑板(18),所述第一支撑板(18)的上端安装有电机(19),所述电机(19)的输出轴末端固定连接有电动推杆(20),所述电动推杆(20)的伸缩端端部固定连接有延伸至待加工件(2)内并与其内侧壁相抵的打磨片(22)。
6.根据权利要求5所述的一种靶材背管加工装置,其特征在于,所述底座(1)的上端固定连接有第二支撑板(21),所述电动推杆(20)贯穿第二支撑板(21)并与其转动连接。
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