[实用新型]一种硅片晶元高精度划片定位机构

权利要求书

1.一种硅片晶元高精度划片定位机构，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）内部中间安装第一电机（2），且第一电机（2）顶部连接第一转轴（3），所述第一转轴（3）穿过底座（1）内部顶端连接工作台（4），且工作台（4）两侧连接支撑架（5），所述支撑架（5）内部设有第二电机（6），且第二电机（6）一端连接第二转轴（7），所述第二转轴（7）穿过支撑架（5）内部连接安装槽（8），且安装槽（8）顶部中间设有调节轴（9），所述调节轴（9）两侧连接导向柱（10），且导向柱（10）穿过安装槽（8）顶部连接夹板（11），所述底座（1）一侧设有第一滑轨杆（12），且第一滑轨杆（12）一侧设有卡槽（13），所述第一滑轨杆（12）另一侧连接调节栓（14），且调节栓（14）穿过第一滑轨杆（12）外部连接卡槽（13），所述底座（1）内部一侧设有凹槽（16），且凹槽（16）内部一端连接弹簧柱（17），所述弹簧柱（17）一端连接卡块（18），且卡块（18）活动连接卡槽（13），所述第一滑轨杆（12）上设有第一滑块（20），且第一滑块（20）一端连接第二滑轨杆（21），所述第二滑轨杆（21）上设有第二滑块（22），且第二滑块（22）底部连接连接盘（23），所述连接盘（23）上设有螺孔（19），且螺孔（19）活动连接螺柱（24），所述螺柱（24）连接清扫头（15）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片晶元高精度划片定位机构，其特征在于：所述调节栓（14）一端与卡块（18）活动接触。

3.根据权利要求1所述的一种硅片晶元高精度划片定位机构，其特征在于：所述第一滑轨杆（12）与第二滑轨杆（21）之间互相垂直，所述第一滑轨杆（12）与第二滑轨杆（21）两侧设有滑槽，且第一滑块（20）与第二滑块（22）中间设有与滑槽卡合的凸块。

4.根据权利要求1所述的一种硅片晶元高精度划片定位机构，其特征在于：清扫头（15）一端固定连接螺柱（24）。