[实用新型]双工位水平石英舟翻转定位机构有效
| 申请号： | 202021189733.1 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN212161777U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 董晓清;安迪 | 申请（专利权）人： | 无锡市江松科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 曹慧萍 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双工 水平 石英 翻转 定位 机构 | ||
1.双工位水平石英舟翻转定位机构，其特征在于，包括底座(8)，所述底座(8)上对称设置有轴承座(6)，所述轴承座(6)内均连接有转轴(4)，所述转轴(4)一侧传动连接有电机(2)，所述转轴(4)上均设置有翻转夹具(1)，所述翻转夹具(1)包括与转轴(4)连接的安装座(101)，所述安装座(101)上通过支撑柱(109)设置有支撑板(107)，所述安装座(101)上对称设置有第一气缸(102)，所述第一气缸(102)的输出端均设置有连接板(103)，所述连接板(103)外侧面上均设置有第二气缸(104)，所述第二气缸(104)的输出端均设置有托板(105)，所述连接板(103)内侧面上均设置有对称的定位块(106)，所述翻转夹具(1)内均设置有石英舟(12)。
2.如权利要求1所述的双工位水平石英舟翻转定位机构，其特征在于，所述轴承座(6)上设置有传感器(7)，所述转轴(4)一端面上设置有与传感器(7)匹配的感应片(5)。
3.如权利要求1所述的双工位水平石英舟翻转定位机构，其特征在于，所述转轴(4)一侧设置有限位板(3)。
4.如权利要求1所述的双工位水平石英舟翻转定位机构，其特征在于，所述底座(8)设置有减震气缸(9)，所述减震气缸(9)输出端设置有固定板(10)，所述固定板(10)上设置有减震块(11)。
5.如权利要求1所述的双工位水平石英舟翻转定位机构，其特征在于，所述石英舟(12)包括石英架(1203)，所述石英架(1203)上设置有对称的立柱(1202)，所述立柱(1202)上均开有放置槽(1201)。
6.如权利要求1所述的双工位水平石英舟翻转定位机构，其特征在于，所述安装座(101)上还设置有微动开关(108)。
7.如权利要求1或5所述的双工位水平石英舟翻转定位机构，其特征在于，所述托板(105)上开有与放置槽(1201)对应的槽，所述定位块(106)上开有与立柱(1202)对应的呈“V”型的固定块(1061)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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