[实用新型]一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机

权利要求书

1.一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，包括工作板(1)和喷头(24)，其特征在于：所述工作板(1)的表面固定连接有腐蚀架(2)，所述腐蚀架(2)的一侧通过固定块固定连接有第一电机(3)，所述第一电机(3)的输出端固定连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)的一端贯穿腐蚀架(2)通过轴承转动连接腐蚀架(2)的一侧内壁，所述螺纹杆(4)的表面螺纹连接有螺纹块(5)，所述螺纹块(5)的顶部固定连接有连接杆(6)，所述连接杆(6)的一端固定连接有滑块(7)，所述螺纹块(5)的底部固定连接有气缸(9)，所述气缸(9)的端部固定连接有固定框架(10)，所述固定框架(10)的端部固定连接有往复运动装置(11)，所述固定框架(10)的端部固定连接有支撑块(1101)，所述支撑块(1101)的顶部固定连接有第二电机(1102)，所述第二电机(1102)的输出端固定连接有转盘(1103)，所述转盘(1103)的表面通过辊轴转动连接有第一支杆(1104)，所述第一支杆(1104)的端部通过辊轴转动连接有传动杆(1105)，所述传动杆(1105)的端部通过辊轴转动连接有第二支杆(1106)，所述第二支杆(1106)的端部通过辊轴转动连接有升降块(1108)，所述升降块(1108)的表面滑动连接有滑动槽(1107)，所述滑动槽(1107)的端部固定连接支撑块(1101)，所述升降块(1108)的端部通过连接块固定连接有夹持块(12)，所述夹持块(12)的凹槽处固定连接有滑杆(13)，所述滑杆(13)的表面固定连接有夹板(14)，所述夹板(14)的内部螺纹连接有螺栓(15)，所述工作板(1)的顶部表面位于腐蚀架(2)的一侧固定连接有腐蚀液池(16)，所述腐蚀液池(16)的内壁固定连接有发热管(17)，所述腐蚀液池(16)左侧的内壁位于发热管(17)的一侧固定连接有感应器(18)，所述腐蚀液池(16)左侧的外壁固定连接有显示器(20)，所述腐蚀液池(16)左侧的外壁位于显示器(20)的一侧固定连接有控制器(19)，所述工作板(1)的顶部位于腐蚀架(2)的一侧固定连接有水泵(21)，所述水泵(21)的一端通过管道固定连接有水箱(22)，所述水泵(21)的另一端通过管道固定连接有清洗池(23)。

2.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述滑块(7)的表面滑动连接有滑槽(8)，所述滑槽(8)开设在腐蚀架(2)顶部的内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述传动杆(1105)的表面通过辊轴转动连接支撑块(1101)，所述传动杆(1105)为人字形状。

4.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述螺栓(15)的表面螺纹连接夹持块(12)，所述螺栓(15)贯穿夹持块(12)延伸至外部。

5.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述发热管(17)、感应器(18)、显示器(20)与控制器(19)电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述清洗池(23)的底部固定连接工作板(1)的表面，所述清洗池(23)位于腐蚀液池(16)的一侧。

7.根据权利要求1所述的一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，其特征在于：所述管道的一端贯穿清洗池(23)的内壁延伸至内部固定连接有喷头(24)，所述喷头(24)的表面固定连接喷嘴。