[实用新型]一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机有效

专利信息
申请号: 202021208804.8 申请日: 2020-06-24
公开(公告)号: CN213977960U 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 周朱华;夏宾 申请(专利权)人: 常州光晶光电科技有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 汪丽丽
地址: 213251 江苏省常州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 腐蚀 晶振片基片 表面 非晶体
【说明书】:

实用新型属于腐蚀加工设备技术领域,尤其为一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机,包括工作板,所述工作板的表面固定连接有腐蚀架,所述腐蚀架的一侧通过固定块固定连接有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的一端贯穿腐蚀架通过轴承转动连接腐蚀架的一侧内壁。本实用新型通过手动转动螺栓利用夹板对晶片进行夹紧固定,通过启动第一电机带动螺纹块移动,从而将往复运动装置移动至腐蚀液池的上方,启动气缸对往复运动装置的高度进行调节,利用往复运动装置将晶片放至腐蚀液池中进行往复运动,对晶片腐蚀作业,通过该结构,降低工人劳动强度,同时可对多个晶体同时作业,极大地提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及腐蚀加工设备技术领域,具体为一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机。

背景技术

晶体的研究开发和生产活动中,对晶片的生产加工需要一个腐蚀过程,目前对金电极晶振片表面加工处理时,大多都是人工操作,对晶片表面进行腐蚀作业,部分一些腐蚀机机结构简单,又不便对腐蚀液温度进行控制,综上所述总结以下存在的问题:

1、传统方法使用人工操作对晶片进行腐蚀作业,劳动强度大,工作效率低下,晶片与腐蚀液体接触不充分;

2、现有技术种腐蚀设备不便对腐蚀液体温度调节控制,影响加工出品质量,不便对刚腐蚀完毕的晶片进行清洗。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机,解决了人工操作对晶片进行腐蚀作业,劳动强度大,晶片与腐蚀液体接触不充分,不便对腐蚀液体温度调节控制,不便对刚腐蚀完毕的晶片进行清洗的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机,包括工作板和喷头,所述工作板的表面固定连接有腐蚀架,所述腐蚀架的一侧通过固定块固定连接有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的一端贯穿腐蚀架通过轴承转动连接腐蚀架的一侧内壁,所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹块,所述螺纹块的顶部固定连接有连接杆,所述连接杆的一端固定连接有滑块,所述螺纹块的底部固定连接有气缸,所述气缸的端部固定连接有固定框架,所述固定框架的端部固定连接有往复运动装置,所述固定框架的端部固定连接有支撑块,所述支撑块的顶部固定连接有第二电机,所述第二电机的输出端固定连接有转盘,所述转盘的表面通过辊轴转动连接有第一支杆,所述第一支杆的端部通过辊轴转动连接有传动杆,所述传动杆的端部通过辊轴转动连接有第二支杆,所述第二支杆的端部通过辊轴转动连接有升降块,所述升降块的表面滑动连接有滑动槽,所述滑动槽的端部固定连接支撑块,所述升降块的端部通过连接块固定连接有夹持块,所述夹持块的凹槽处固定连接有滑杆,所述滑杆的表面固定连接有夹板,所述夹板的内部螺纹连接有螺栓,所述工作板的顶部表面位于腐蚀架的一侧固定连接有腐蚀液池,所述腐蚀液池的内壁固定连接有发热管,所述腐蚀液池左侧的内壁位于发热管的一侧固定连接有感应器,所述腐蚀液池左侧的外壁固定连接有显示器,所述腐蚀液池左侧的外壁位于显示器的一侧固定连接有控制器,所述工作板的顶部位于腐蚀架的一侧固定连接有水泵,所述水泵的一端通过管道固定连接有水箱,所述水泵的另一端通过管道固定连接有清洗池。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述滑块的表面滑动连接有滑槽,所述滑槽开设在腐蚀架顶部的内壁上。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述传动杆的表面通过辊轴转动连接支撑块,所述传动杆为人字形状。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述螺栓的表面螺纹连接夹持块,所述螺栓贯穿夹持块延伸至外部。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述发热管、感应器、显示器与控制器电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述清洗池的底部固定连接工作板的表面,所述清洗池位于腐蚀液池的一侧。

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