[实用新型]一种用于晶圆的高效便利的自动装载机构有效
| 申请号： | 202021216609.X | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN212010925U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 郑锦;薛传洲;倪明;李蕊;吴俊冉 | 申请（专利权）人： | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人： | 于刚 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高效 便利 自动 装载 机构 | ||
1.一种用于晶圆的高效便利的自动装载机构，其特征在于，包括与真空设备开合式连接的真空封闭门（1）；还包括设于真空设备上的晶圆托架（2）、第一传动杆（3）、第二传动杆（4）、限位架（5）、滑轨组（6）、机械手（7）和升降部件（8）；所述晶圆托架（2）的一侧与限位架（5）的一端联动，所述晶圆托架（2）的另一侧与第二传动杆（4）的一端联动；
所述第二传动杆（4）的另一端与真空封闭门（1）铰接，所述真空封闭门（1）与第二传动杆（4）的铰接连接处还与第一传动杆（3）的一端铰接连接，所述第一传动杆（3）的另一端与所述限位架（5）的另一端铰接连接，所述限位架（5）的另一端上下滑动设于所述滑轨组（6）上；通过升降部件（8）沿着导向轴调整所述滑轨组（6）与所述晶圆托架（2）在所述真空设备中所处的高度。
2.根据权利要求1所述的用于晶圆的高效便利的自动装载机构，其特征在于，打开真空设备的真空封闭门（1），所述晶圆托架（2）随真空封闭门（1）的打开自动伸出所述真空设备的腔体。
3.根据权利要求2所述的用于晶圆的高效便利的自动装载机构，其特征在于，关闭真空设备的真空封闭门（1），所述晶圆托架（2）随真空封闭门（1）的关闭自动推入真空设备腔体内部。
4.根据权利要求3所述的用于晶圆的高效便利的自动装载机构，其特征在于，所述晶圆托架（2）内晶圆槽采用与晶圆同轴心结构。
5.根据权利要求2-4任一所述的用于晶圆的高效便利的自动装载机构，其特征在于，打开真空设备的真空封闭门（1），所述晶圆托架（2）随真空封闭门（1）的打开自动旋转，真空封闭门（1）完全打开时所述晶圆托架（2）的开口正对操作位置。
6.根据权利要求5所述的用于晶圆的高效便利的自动装载机构，其特征在于，关闭真空设备的真空封闭门（1），所述晶圆托架（2）随真空封闭门（1）的关闭自动旋转，真空封闭门（1）完全关闭时晶圆托架（2）的开口正对机械手（7）动作方向。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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