[实用新型]一种自动型晶圆测试用治具

权利要求书

1.一种自动型晶圆测试用治具，其特征在于：包括上框架（1）、下框架（2）、安装块（3），所述上框架（1）和下框架（2）固定连接，所述安装块（3）安装于上框架（1）和下框架（2）上，所述上框架（1）包含上框架外环板（11）和上框架内环板（12），所述上框架外环板（11）和上框架内环板（12）之间设有上框架隔板（13），所述下框架（2）包含下框架外环板（22）和下框架内环板（23），所述下框架外环板（22）和下框架内环板（23）之间设有下框架隔板（21），所述安装块（3）上方连接有上盖板（31），所述安装块（3）下方连接有下盖板（33），所述上盖板（31）和下盖板（33）设有相互配合的探针孔（35）。

2.根据权利要求1所述的一种自动型晶圆测试用治具，其特征在于：所述上框架外环板（11）外侧设有均匀布置的定位销孔（111），所述上框架外环板（11）的内侧设有第一销钉（112）。

3.根据权利要求1所述的一种自动型晶圆测试用治具，其特征在于：所述上框架内环板（12）上设有凸起（121），所述凸起（121）上设有第二销钉（1211），所述第二销钉（1211）的两侧均设有一个螺孔（1212）。

4.根据权利要求1所述的一种自动型晶圆测试用治具，其特征在于：所述上框架隔板（13）和下框架隔板（21）上均设有配合连接的螺孔。

5.根据权利要求1所述的一种自动型晶圆测试用治具，其特征在于：所述下框架外环板（22）上设有均匀布置的调节孔（221）。

6.根据权利要求1或2所述的一种自动型晶圆测试用治具，其特征在于：所述安装块（3）上设有与定位销孔（111）相配合的定位槽（32）。

7.根据权利要求1或3所述的一种自动型晶圆测试用治具，其特征在于：所述上盖板（31）上设有与螺孔（1212）相配合的让位槽（34）。