[实用新型]一种用于高纯钌靶制备的升温装置有效

专利信息
申请号: 202021224230.3 申请日: 2020-06-29
公开(公告)号: CN212537874U 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: 王永超;赵泽良 申请(专利权)人: 河南东微电子材料有限公司
主分类号: F23G7/06 分类号: F23G7/06;F23G5/44;F27D19/00;F27D7/06
代理公司: 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 代理人: 孔丽丽
地址: 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 高纯 制备 升温 装置
【权利要求书】:

1.一种用于高纯钌靶制备的升温装置,包括具有箱门的箱体(1),其特征在于,所述箱体(1)内通过加热箱(2)固定安装有制备罐(4),所述制备罐(4)上螺纹安装有罐盖(21),所述箱体(1)上安装有抽气机构,所述制备罐(4)上固定安装有隔板(12),所述加热箱(2)内通过焚烧机(3)固定安装有导热轴(11),且导热轴(11)与焚烧机(3)的出热口相固定,且焚烧机(3)与箱体(1)之间连通有进料管(5),所述导热轴(11)上固定安装有多个放置机构,所述隔板(12)与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆(13),所述制备罐(4)内通过两个电动伸缩杆(10)固定安装有两个点火杆(20),所述焚烧机(3)与制备罐(4)之间连通有排气管(9),所述制备罐(4)上固定安装有温度传感器(16)。

2.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置,其特征在于,所述抽气机构包括固定安装在箱体(1)上的抽风机(6),所述抽风机(6)上连通有一根出风管(7),且出风管(7)的开口位于箱体(1)的外部,所述抽风机(6)与制备罐(4)之间连通有抽气管与除尘管(8),且除尘管(8)上固定安装有电阀门一。

3.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置,其特征在于,所述放置机构包括固定安装在导热轴(11)上的底板(14),所述底板(14)上固定安装有制备块(19)与两个加热棒(15)。

4.根据权利要求2所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置,其特征在于,所述制备罐(4)的外部固定安装有海绵套(17)。

5.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置,其特征在于,所述进料管(5)上固定安装有一个电阀门二。

6.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置,其特征在于,所述两个电动伸缩杆(10)的外部均套设有防尘罩。

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