[实用新型]一种用于高纯钌靶制备的升温装置有效
申请号: | 202021224230.3 | 申请日: | 2020-06-29 |
公开(公告)号: | CN212537874U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 王永超;赵泽良 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | F23G7/06 | 分类号: | F23G7/06;F23G5/44;F27D19/00;F27D7/06 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 孔丽丽 |
地址: | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 高纯 制备 升温 装置 | ||
1.一种用于高纯钌靶制备的升温装置,包括具有箱门的箱体(1),其特征在于,所述箱体(1)内通过加热箱(2)固定安装有制备罐(4),所述制备罐(4)上螺纹安装有罐盖(21),所述箱体(1)上安装有抽气机构,所述制备罐(4)上固定安装有隔板(12),所述加热箱(2)内通过焚烧机(3)固定安装有导热轴(11),且导热轴(11)与焚烧机(3)的出热口相固定,且焚烧机(3)与箱体(1)之间连通有进料管(5),所述导热轴(11)上固定安装有多个放置机构,所述隔板(12)与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆(13),所述制备罐(4)内通过两个电动伸缩杆(10)固定安装有两个点火杆(20),所述焚烧机(3)与制备罐(4)之间连通有排气管(9),所述制备罐(4)上固定安装有温度传感器(16)。
2.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置,其特征在于,所述抽气机构包括固定安装在箱体(1)上的抽风机(6),所述抽风机(6)上连通有一根出风管(7),且出风管(7)的开口位于箱体(1)的外部,所述抽风机(6)与制备罐(4)之间连通有抽气管与除尘管(8),且除尘管(8)上固定安装有电阀门一。
3.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置,其特征在于,所述放置机构包括固定安装在导热轴(11)上的底板(14),所述底板(14)上固定安装有制备块(19)与两个加热棒(15)。
4.根据权利要求2所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置,其特征在于,所述制备罐(4)的外部固定安装有海绵套(17)。
5.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置,其特征在于,所述进料管(5)上固定安装有一个电阀门二。
6.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置,其特征在于,所述两个电动伸缩杆(10)的外部均套设有防尘罩。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南东微电子材料有限公司,未经河南东微电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021224230.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种便于携带的可调式旅游行李架
- 下一篇:一种回收含铑贵金属碎屑的沉降池