[实用新型]一种用于高纯钌靶制备的升温装置

说明书

本实用新型公开了一种用于高纯钌靶制备的升温装置，包括具有箱门的箱体，所述箱体内通过加热箱固定安装有制备罐，所述制备罐上螺纹安装有罐盖，所述箱体上安装有抽气机构，所述制备罐上固定安装有隔板，所述加热箱内通过焚烧机固定安装有导热轴，且导热轴与焚烧机的出热口相固定，所述导热轴上固定安装有多个放置机构，所述隔板与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆，所述制备罐内通过两个电动伸缩杆固定安装有两个点火杆，所述焚烧机与制备罐之间连通有排气管。优点在于：既可以对高纯钌靶制作时提供较高的温度，能够进行多次加热升温，且可以将燃烧时产生的废气进行有效的处理，可有效的节约能源的消耗，具有较高的实用价值。

技术领域

本实用新型涉及高纯钌靶制备的技术领域，尤其涉及一种用于高纯钌靶制备的升温装置。

背景技术

高纯钌靶是电子信息技术产业中不可或缺的关键材料，在制备时通常需要将高纯钌靶放置在升温装置中进行高温加热，从而获得纯度较高的晶体；

现有的升温装置在进行加热升温时会产生较多的含碳废气，这些废气一般直接排放，未对废气中的可燃物质进行有效的利用，且上述装置的加热效果不够理想，无法进行分层次的升温，需要较长时间才能达到所需要的纯度，因此亟需设计一种用于高纯钌靶制备的升温装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的问题，而提出的一种用于高纯钌靶制备的升温装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于高纯钌靶制备的升温装置，包括具有箱门的箱体，所述箱体内通过加热箱固定安装有制备罐，所述制备罐上螺纹安装有罐盖，所述箱体上安装有抽气机构，所述制备罐上固定安装有隔板，所述加热箱内通过焚烧机固定安装有导热轴，且导热轴与焚烧机的出热口相固定，且焚烧机与箱体之间连通有进料管，所述导热轴上固定安装有多个放置机构，所述隔板与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆，所述制备罐内通过两个电动伸缩杆固定安装有两个点火杆，所述焚烧机与制备罐之间连通有排气管，所述制备罐上固定安装有温度传感器。

在上述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置中，所述抽气机构包括固定安装在箱体上的抽风机，所述抽风机上连通有一根出风管，且出风管的开口位于箱体的外部，所述抽风机与制备罐之间连通有抽气管与除尘管，且除尘管上固定安装有电阀门一。

在上述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置中，所述放置机构包括固定安装在导热轴上的底板，所述底板上固定安装有制备块与两个加热棒。

在上述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置中，所述制备罐的外部固定安装有海绵套。

在上述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置中，所述进料管上固定安装有电阀门二。

在上述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置中，所述两个电动伸缩杆的外部均套设有防尘罩。

与现有的技术相比，本实用新型优点在于：

1：通过设置隔板与排气管，排气管能够将焚烧机工作时产生的废气排放至制备罐内，并使用隔板隔开，在制备罐内的尾气经过点火杆的加热点火作用燃烧，从而可使制备罐内的温度更高，从而更利于高纯钌靶的制备。

2：通过设置抽风机，抽风机能够将制备罐加工区内的空气抽除，从而使制备罐内形成真空状态，可利于高纯钌靶的制备，且抽风机能够将加热区内燃烧后的剩余尾气进行抽除，从而便于下次的制备。

3：通过设置放置机构，放置机构中的制备块用于高纯钌靶的制备，其内的底板具有良好的导热性，能够将导热轴内的温度有效的传导至制备块内，从而可为高纯钌靶的制备的提供较高的温度。

综上所述，本实用新型既可以对高纯钌靶制作时提供较高的温度，能够进行多次加热升温，且可以将燃烧时产生的废气进行有效的处理，可有效的节约能源的消耗，具有较高的实用价值。