[实用新型]一种单晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 202021224934.0 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN213327933U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 陈红荣;孙庚昕;胡动力;张华利 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B11/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 铸锭 | ||
1.一种单晶硅铸锭炉，包括由外而内依次套接设置的炉体(1)、隔热笼(2)和坩埚(3)，在所述隔热笼(2)的内部还设有加热器(6)，其特征在于：相邻的两块石墨护板(5)之间通过设置在左右两侧位于交线位置的螺杆连接件(7)合围成石墨护板矩形框，所述坩埚(3)与所述石墨护板(5)之间相隔3-20mm，在所述坩埚(3)和所述石墨护板所形成的间隙空间中设置一层保温层(4)，所形成的石墨护板矩形框通过设置在上下两边的螺杆连接件(7)紧固在所述坩埚(3)的外围。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅铸锭炉，其特征在于：所述保温层(4)的厚度为10mm。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅铸锭炉，其特征在于：所述石墨护板(5)的高度大于所述坩埚(3)的高度。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅铸锭炉，其特征在于：所述保温层(4)的高度小于所述坩埚(3)的高度，大于所述坩埚(3)内部制作的单晶硅的高度。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅铸锭炉，其特征在于：所述保温层(4)的材料选用耐火度超过1600℃的纤维材料，包括石墨软毡、石墨布、氧化铝石棉中的任一种或几种。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅铸锭炉，其特征在于：所述加热器(6)贴附在所述石墨护板(5)的外侧，包括顶端加热器(601)和加热器侧面加热器(602)，分别对应于所述石墨护板(5)的顶面和四周侧壁均匀布置。
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