[实用新型]一种电弧熔射处理设备的支撑装置有效

专利信息
申请号: 202021227033.7 申请日: 2020-06-29
公开(公告)号: CN212894929U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 刘得志 申请(专利权)人: 东莞市世平光电科技有限公司
主分类号: C23C4/131 分类号: C23C4/131;H01L21/67
代理公司: 东莞市明诺知识产权代理事务所(普通合伙) 44596 代理人: 陈思远
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 电弧 处理 设备 支撑 装置
【说明书】:

实用新型涉及熔射处理设备技术领域,具体为一种电弧熔射处理设备的支撑装置,包括底座,底座的上方设有升降机构以及安装在升降机构顶端的夹持机构,夹持机构包括工作台,工作台内开设有顶槽,顶槽内设置有顶块,顶块上滑动连接有两个呈对称分布的滑动座,工作台的两侧顶端均设置有顶出气缸,其中一个滑动座的顶端外壁安装有电机,电机的输出端设有螺丝杆,螺丝杆穿过滑动座并螺纹连接有夹座,另一个滑动座的内侧紧密焊接有连接块,连接块远离滑动座的一端焊接固定有固定座,本实用通过设置升降机构与夹持机构,对电弧喷枪进行夹持,且在熔射过程中能进行移动和升降,解决了工作人员用手拿持电弧喷枪,危险性较高的问题。

技术领域

本实用新型涉及熔射处理设备技术领域,具体为一种电弧熔射处理设备的支撑装置。

背景技术

在半导体制程中,必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生,以维持半导体制程设备的效能,并可延长设备的使用寿命。遮覆板在清洗后,还需要在表面进行电弧熔射处理,以便于后续生产,电弧熔射要将两条各自带有正电负电的相同金属线接触产生电弧,瞬间产生高热将金属线材融化,再经高压空气吹细雾化,带送吹向底材(或工件),堆积、凝固成涂层或膜厚,电弧熔射机是将两根丝状金属喷涂材料送进电弧喷枪中的两个导电嘴内,导电嘴分别连接高电流、低电压的两极。当金属丝前进至相互接触时,它们短路瞬间产生的电弧,可达到5000℃以上的高温,使丝材端部熔化,并被极高速度的压缩空气流(约达两倍音速)雾化呈微熔滴,微熔滴被压缩空气流带动以超音速(400m/s以上)射向工件表面,形成电弧喷涂层,在使用过程中用手拿持电弧喷枪危险性较高。鉴于此,我们提出一种电弧熔射处理设备的支撑装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电弧熔射处理设备的支撑装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种电弧熔射处理设备的支撑装置,包括底座,所述底座的上方设有升降机构以及安装在所述升降机构顶端的夹持机构,所述夹持机构包括工作台,所述工作台内开设有顶槽,所述顶槽内设置有顶块,所述顶块上滑动连接有两个呈对称分布的滑动座,所述工作台的两侧顶端均设置有顶出气缸,所述顶出气缸的活塞杆与所述滑动座的外壁固定连接,其中一个所述滑动座的顶端外壁安装有电机,所述电机的输出端设有螺丝杆,所述螺丝杆穿过所述滑动座并螺纹连接有夹座,另一个所述滑动座的内侧紧密焊接有连接块,所述连接块远离所述滑动座的一端焊接固定有固定座。

优选的,所述夹座整体呈U字型结构,且与所述螺丝杆转动连接,所述固定座与所述夹座大小相等且相互对称,所述固定座的底端紧密焊接有置物板。

优选的,所述两个所述顶出气缸均固定在安装座上,所述安装座呈L型结构,且下方设有两个螺栓,所述安装座通过所述螺栓固定安装在所述工作台的上表面。

优选的,所述升降机构由若干个安装板、与所述安装板交叉设置的若干个安装条以及设在所述安装板和所述安装条连接处的转轴构成。

优选的,所述转轴位于所述安装板和所述安装条的内部,所述转轴的两端设有限位块,所述限位块紧贴在所述安装条的外表面。

优选的,所述限位块的直径大于所述转轴的直径。

优选的,所述最顶端和最低端的所述安装板的一侧铰接有连接板,顶端的所述连接板的上表面与所述工作台的下底面固定连接,底端的所述连接板的下底面与所述底座的上表面固定连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果:该电弧熔射处理设备的支撑装置通过设置夹持机构,将电弧喷枪放在置物板上再通过电机转动使螺丝杆的另一端对电弧喷枪进行夹持,在顶出气缸活塞杆伸缩的时候带动电弧喷枪移动,解决了工作人员用手拿持电弧喷枪,危险性较高的问题;且在夹持机构下设置升降机构,方便在熔射过程中能进行升降,调整熔射高度。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

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