[实用新型]一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机

权利要求书

1.一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，包括底座(1)和箱体(2)，其特征在于：所述底座(1)上端面固定连接有箱体(2)，所述箱体(2)上端面固定连接有固定箱(4)，所述箱体(2)下端面内侧固定连接有支撑架(19)，所述支撑架(19)上端面固定连接有转动装置(3)，所述固定箱(4)上端面内侧左侧固定连接有升降电机(5)，所述升降电机(5)主轴末端固定连接有螺旋杆(6)，所述螺旋杆(6)下端面固定连接有支撑杆(8)，所述支撑杆(8)下端面与固定箱(4)转动连接，所述螺旋杆(6)右侧滑动连接有滑动杆(7)，所述滑动杆(7)右端面固定连接有转动环(9)，所述转动环(9)内侧固定连接有转动杆(11)，所述转动环(9)上下两侧均设有限位环(10)，所述限位环(10)内侧均与转动杆(11)固定连接，位于下方的所述限位环(10)下方设有转动齿轮(12)，所述转动齿轮(12)内侧与转动杆(11)固定连接，所述转动齿轮(12)下方设有滑动架(13)，所述滑动架(13)内侧与转动杆(11)固定连接，所述滑动架(13)下方设有顶环(14)，所述顶环(14)内侧与转动杆(11)固定连接，所述滑动架(13)右端面与固定箱(4)滑动连接，所述滑动架(13)上端面固定连接有调节电机(15)，所述调节电机(15)主轴末端固定连接有调节齿轮(16)，所述调节齿轮(16)外侧与转动齿轮(12)啮合。

2.根据权利要求1所述的一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，其特征在于：所述调节电机(15)右侧设有限位柱(17)，所述限位柱(17)外侧与滑动架(13)滑动连接，所述限位柱(17)下端面与固定箱(4)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，其特征在于：所述转动杆(11)外侧与固定箱(4)滑动连接，所述转动杆(11)下端面固定连接有红外线加热管(18)。

4.根据权利要求1所述的一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，其特征在于：所述转动装置(3)包括固定壳(301)和转动电机(302)，所述固定壳(301)下端面与支撑架(19)固定连接，所述固定壳(301)内侧中央固定连接有转动电机(302)，所述转动电机(302)主轴末端固定连接有主动齿轮(303)，所述主动齿轮(303)外侧啮合有均匀分布的从动齿轮(304)，所述从动齿轮(304)内部中央均固定连接有转动轴(305)，所述转动轴(305)下端面与固定壳(301)滚动连接，所述转动轴(305)上端面均固定连接有固定台(306)。

5.根据权利要求4所述的一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，其特征在于：所述固定壳(301)内侧开设有均匀分布的齿牙，所述固定壳(301)通过齿牙与从动齿轮(304)啮合。