[实用新型]一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其为一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，包括底座和箱体，所述底座上端面固定连接有箱体，所述箱体上端面固定连接有固定箱，所述箱体下端面内侧固定连接有支撑架，所述支撑架上端面固定连接有转动装置，所述固定箱上端面内侧左侧固定连接有升降电机，所述升降电机主轴末端固定连接有螺旋杆，所述螺旋杆下端面固定连接有支撑杆；本实用新型中，通过设置的固定壳、从动齿轮、转动轴和固定台，通过设置的六个从动齿轮可以带动转动轴转动，从而带动固定台上方的基板转动，可以使正电荷的离子均匀轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化，从而在试样表面上形成一层均匀的薄膜，保证镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机。

背景技术

真空镀膜技术是一项应用范围很广的先进技术，中国的真空镀膜技术是从20世纪60年底开始发展的，从模仿设计、自行研制到技术引进，并在技术引进的基础上促进了自行研制的和发展，目前国内主要生产厂家有北京北仪、上海曙光机器厂、广东振华等，国外主要生产厂家有日本新科龙SHINCRON、日本光驰OPTORUN、德国莱宝Leybold Optics等。

离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极(靶)和阳极(试样)间电压的加速作用下，正电荷的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化；形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜，现有离子溅射镀膜机大多都是单基板镀膜，生产效率低，基板加热不均匀，导致镀膜质量不佳，因此，针对上述问题提出一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，包括底座和箱体，所述底座上端面固定连接有箱体，所述箱体上端面固定连接有固定箱，所述箱体下端面内侧固定连接有支撑架，所述支撑架上端面固定连接有转动装置，所述固定箱上端面内侧左侧固定连接有升降电机，所述升降电机主轴末端固定连接有螺旋杆，所述螺旋杆下端面固定连接有支撑杆，所述支撑杆下端面与固定箱转动连接，所述螺旋杆右侧滑动连接有滑动杆，所述滑动杆右端面固定连接有转动环，所述转动环内侧固定连接有转动杆，所述转动环上下两侧均设有限位环，所述限位环内侧均与转动杆固定连接，位于下方的所述限位环下方设有转动齿轮，所述转动齿轮内侧与转动杆固定连接，所述转动齿轮下方设有滑动架，所述滑动架内侧与转动杆固定连接，所述滑动架下方设有顶环，所述顶环内侧与转动杆固定连接，所述滑动架右端面与固定箱滑动连接，所述滑动架上端面固定连接有调节电机，所述调节电机主轴末端固定连接有调节齿轮，所述调节齿轮外侧与转动齿轮啮合。

优选的，所述调节电机右侧设有限位柱，所述限位柱外侧与滑动架滑动连接，所述限位柱下端面与固定箱固定连接。

优选的，所述转动杆外侧与固定箱滑动连接，所述转动杆下端面固定连接有红外线加热管。

优选的，所述转动装置包括固定壳和转动电机，所述固定壳下端面与支撑架固定连接，所述固定壳内侧中央固定连接有转动电机，所述转动电机主轴末端固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮外侧啮合有均匀分布的从动齿轮，所述从动齿轮内部中央均固定连接有转动轴，所述转动轴下端面与固定壳滚动连接，所述转动轴上端面均固定连接有固定台。

优选的，所述固定壳内侧开设有均匀分布的齿牙，所述固定壳通过齿牙与从动齿轮啮合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：