[实用新型]一种晶棒定角粘接机有效
| 申请号： | 202021229552.7 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN212288211U | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 周晋羽;李聪聪;周巍 | 申请（专利权）人： | 台州市博信电子有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;G01N23/20 |
| 代理公司： | 台州市方圆专利事务所(普通合伙) 33107 | 代理人： | 徐斌斌 |
| 地址： | 318000 浙江省台州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶棒定角粘 接机 | ||
1.一种晶棒定角粘接机,包括工作台(11)、X射线光路的发射与接收机构和用于使料板(10)呈水平放置并定位的扫描机架(2)，所述扫描机架(2)设置在所述工作台(11)上，其特征在于，所述扫描机架(2)能够相对工作台(11)转动，所述扫描机架(2)上设有矫正基准立板(5)且所述矫正基准立板(5)能够相对扫描机架(2)转动，所述矫正基准立板(5)上设有柔性吸盘(7)且柔性吸盘(7)能够将放置在料板(10)上的晶棒吸附并使晶棒贴靠在矫正基准立板(5)的垂直基准面上，所述扫描机架(2)上设有压块(9b)且压块(9b)能够将晶棒压紧在料板(10)上。
2.根据权利要求1所述的晶棒定角粘接机，其特征在于，所述矫正基准立板(5)上连接有能够沿垂直于矫正基准立板(5)板面方向滑动的定位架(6)，所述柔性吸盘(7)连接在定位架(6)上，当柔性吸盘(7)吸附住晶棒时定位架(6)能够缩回并使晶棒贴靠在矫正基准立板(5)的垂直基准面上。
3.根据权利要求1所述的晶棒定角粘接机，其特征在于，所述柔性吸盘(7)固定在矫正基准立板(5)上，所述柔性吸盘(7)为风琴形吸盘且能够沿垂直于矫正基准立板(5)板面方向伸缩。
4.根据权利要求3所述的晶棒定角粘接机，其特征在于，所述矫正基准立板(5)包括板一和板二，所述板二贴靠并固定在板一的后侧面，所述板一的下方具有让位缺口，所述柔性吸盘(7)固定在所述板二上且穿过让位缺口伸出所述板一的前侧面。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的晶棒定角粘接机，其特征在于，所述矫正基准立板(5)前板面的下部具有若干向前凸出的基准凸部(5a)，若干基准凸部(5a)的前端面共面且形成上述垂直基准面。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的晶棒定角粘接机，其特征在于，所述矫正基准立板(5)上还固定有位移传感器(5e)。
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