[实用新型]一种晶棒定角粘接机

说明书

本实用新型提供了一种晶棒定角粘接机，属于半导体设备技术领域。它解决了现有晶棒与料板的定角和粘接精度不高的问题。本晶棒定角粘接机,包括工作台、X射线光路的发射与接收机构和用于使料板呈水平放置并定位的扫描机架，扫描机架设置在工作台上，扫描机架能够相对工作台转动，扫描机架上设有矫正基准立板且矫正基准立板能够相对扫描机架转动，矫正基准立板上设有柔性吸盘且柔性吸盘能够将放置在料板上的晶棒吸附并使晶棒贴靠在矫正基准立板的垂直基准面上，扫描机架上设有压块且压块能够将晶棒压紧在料板上。本定角粘接机通过多次的扫描、矫正、验证形成一个闭环式的循环矫正定角过程，能够保证精确的对晶棒实现定角，提高了定角和粘接的精度。

技术领域

本实用属于半导体设备技术领域，涉及一种晶棒定角粘接机及其定角粘接方法。

背景技术

晶振是数字电路必需元件，为数字电路提供时钟基准。晶振内部的石英晶片是由晶棒切割后制成。在切割晶棒前有一道非常重要的定角粘接工序，具体过程是通过X射线衍射测定晶棒的外加工面与定向原子面的角度，再将晶棒以正确的角度姿态粘接在料板上。定角粘接工序的目的是让切割后的晶片，其切割面与定向原子面的夹角(简称晶片角度)在指定的角度区间内。不同频率的晶片，需要不同的晶片角度，角度的误差，决定了晶振的温频特性。

现有技术中，如对比文件201620999397.4公开的一种晶棒定角粘接机，该机器中，工作台上设有粘料平台、X射线发射器和X射线接收器，位于粘料平台上方设有电机安装座，电机安装座通过伺服电机带动能够上下移动，电机安装座上设有旋转电机，旋转电机上连接有夹具。具体的工作过程为：料板装夹固定在粘料平台上，晶棒放置在夹具下被夹具夹持，X射线发射器和X射线接收器开始工作，并将检测到的信息发送给控制中心，控制中心控制旋转电机带动夹具转动矫正晶棒相对料板的角度，直至X射线接收器接收到衍射信号完成定角，伺服电机带动整个电机安装座连同旋转电机和夹具一同下移直至晶棒与料板接触，完成粘料。

该现有技术存在以下缺陷：该机器从角度测定到最终粘接定位，是一个开环系统，晶棒在定角过程中是被夹具在空中夹持完成的，在晶棒被夹具夹持后晶棒的上侧面贴靠在夹具上，即晶棒上侧面与夹具上的基准面抵靠，但是由于晶棒的上侧面与下侧面难以保证绝对的平行，而晶棒粘接时是以料板的上表面为基准面的，因此，夹具下移带动晶棒下降后，晶棒的下侧面难以与料板的上表面保持贴合，夹具将晶棒释放后需要人工将晶棒压持，让晶棒和料板通过胶水粘接在一起，最后进行一定时间的胶水固化，这样会导致最终晶棒与料板之间的角度与定角完成时的角度是有偏差的。同时由于装置本身精度的局限性，在完成定角后的下移过程中，晶棒的位置也可能会发生一定的偏移，而晶棒与料板之间的角度精度需要达到角秒级别的，精度要求非常高，继而会严重影响后续切割工序的精度。综上所述，由于该定角粘接机是开环系统，过程中出现多种因素的误差导致晶棒与料板之间姿态角度精度不能得到保障，使切割后的晶片角度的精确性不好。

为了提高定角和粘接的精度，常规的做法是：提高带动夹具上下移动的驱动装置的设备精度，这需要投入大量的研发成本，而且由于整个驱动装置是由伺服电机和丝杆丝母机构组成，由于现有技术的限制，要将整个装置做得精度很高几乎不可能。

发明内容

本实用的目的是针对现有技术存在的上述问题，提出了一种晶棒定角粘接机及其定角粘接方法，用以解决现有晶棒与料板的定角和粘接精度不高的问题。

本实用的目的可通过下列技术方案来实现：一种晶棒定角粘接机,包括工作台、X射线光路的发射与接收机构和用于使料板呈水平放置并定位的扫描机架，所述扫描机架设置在所述工作台上，其特征在于，所述扫描机架能够相对工作台转动，所述扫描机架上设有矫正基准立板且所述矫正基准立板能够相对扫描机架转动，所述矫正基准立板上设有柔性吸盘且柔性吸盘能够将放置在料板上的晶棒吸附并使晶棒贴靠在矫正基准立板的垂直基准面上，所述扫描机架上设有压块且压块能够将晶棒压紧在料板上。