[实用新型]防撞装置、工件台系统及光刻机

权利要求书

1.一种防撞装置，其特征在于，包括至少一个防撞组件，所述防撞组件包括：

安装框，所述安装框内具有安装槽；

第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和所述第二滑块沿着预定方向设置在所述安装槽内，并且分别位于所述安装槽在所述预定方向上的两端；

缓冲杆，所述缓冲杆两端分别与所述第一滑块和所述第二滑块连接，且所述缓冲杆在所述预定方向上可伸缩设置；以及，

防撞杆，所述防撞杆沿所述预定方向可移动穿过所述安装框，并且所述防撞杆牵制所述第一滑块及所述第二滑块，以在外力撞击所述防撞杆的两端至少其中之一时，牵动所述第一滑块朝向所述第二滑块运动和/或牵动所述第二滑块朝向所述第一滑块方向运动，并使所述缓冲杆受挤压收缩。

2.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述安装框包括多个侧板，多个所述侧板围设形成所述安装槽。

3.如权利要求2所述的防撞装置，其特征在于，所述防撞杆包括第一防撞杆，所述第一防撞杆包括第一子防撞杆和设置在所述第一子防撞杆上的推块，以及靠近所述第一滑块的所述侧板上设有第一通孔；

所述第一子防撞杆可移动穿过所述第一通孔及所述第一滑块，在所述第一子防撞杆被撞击时，所述第一子防撞杆带动所述推块移动，并使所述推块与所述第一滑块抵接，以推动所述第一滑块朝向所述第二滑块方向运动。

4.如权利要求3所述的防撞装置，其特征在于，所述第一防撞杆还包括第一连接件，所述推块套设在所述第一子防撞杆上，所述第一连接件穿过所述推块和所述第一子防撞杆，以将所述推块固定在所述第一子防撞杆上。

5.如权利要求3所述的防撞装置，其特征在于，所述防撞杆还包括第二防撞杆，所述第二防撞杆的一端与所述第一防撞杆可伸缩连接，所述第二防撞杆的另一端与所述第二滑块固定连接，并穿过所述第二滑块及可移动穿过靠近所述第二滑块的所述侧板，以在所述第二防撞杆被撞击时，推动所述第二滑块朝向所述第一滑块方向运动。

6.如权利要求5所述的防撞装置，其特征在于，所述第二防撞杆还包括第二子防撞杆和第三子防撞杆，所述第二子防撞杆和所述第三子防撞杆可拆卸连接。

7.如权利要求6所述的防撞装置，其特征在于，所述第二防撞杆还包括第二连接件，所述第二子防撞杆一端与所述第一防撞杆可伸缩连接，另一端与所述第二滑块连接且穿过所述第二滑块；所述第三子防撞杆一端伸入所述第二子防撞杆内，另一端朝向远离所述第二子防撞杆方向延伸；所述第二连接件穿过所述第二子防撞杆和所述第三子防撞杆时，固定所述第二子防撞杆和所述第三子防撞杆。

8.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述缓冲杆包括第一缓冲杆、第二缓冲杆及套设在所述第一缓冲杆上的弹性件，所述第一缓冲杆一端与所述第一滑块连接，另一端朝向所述第二缓冲杆方向延伸，所述第二缓冲杆一端可滑动伸入至所述第一缓冲杆中，另一端与所述第二滑块连接。

9.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述缓冲杆为两个，两个所述缓冲杆分别位于所述防撞杆两侧。

10.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述第一滑块具有第一通槽和第一开口，所述第一通槽和所述第一开口沿所述预定方向延伸；所述防撞杆可滑动穿过所述第一通槽，所述缓冲杆一端伸入所述第一开口以连接至所述第一滑块，另一端与所述第二滑块连接。

11.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述第二滑块具有中空腔和第二通槽，所述第二通槽沿所述预定方向延伸以贯穿所述中空腔，以及所述防撞杆穿过所述第二通槽并与所述第二滑块固定连接；并且，所述第二滑块靠近所述第一滑块的侧板上还具有第二开口，所述第二开口连通至所述中空腔，所述缓冲杆穿过所述第二开口以伸入至所述中空腔，并连接至所述中空腔远离所述第一滑块的侧板。