[实用新型]一种扩晶环结构有效
申请号: | 202021253668.4 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN212209541U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 王立彦;王星 | 申请(专利权)人: | 东莞伏尔甘自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L21/67 |
代理公司: | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人: | 朱亲林 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩晶环 结构 | ||
1.一种扩晶环结构,其包括有母环(1)、子环(2)和蓝膜(3);所述的母环(1)套设在所述的子环(2)外;所述的蓝膜(3)覆盖于所述的子环(2),且所述的蓝膜(3)固定于所述的母环(1)与所述的子环(2)中的间隙;其特征在于,所述的母环(1)下表面设有便于裁剪所述的蓝膜(3)的切割槽(11)。
2.根据权利要求1所述的一种扩晶环结构,其特征在于,所述的切割槽(11)为直槽。
3.根据权利要求1或2所述的一种扩晶环结构,其特征在于,所述的母环(1)内壁设有凸起(12),所述的子环(2)外壁设有凹槽(21),所述的凸起(12)与所述的凹槽(21)配合扣紧。
4.根据权利要求3所述的一种扩晶环结构,其特征在于,所述的凸起(12)的横截面为圆弧状。
5.根据权利要求4所述的一种扩晶环结构,其特征在于,所述的凹槽(21)的横截面为圆弧状。
6.根据权利要求3所述的一种扩晶环结构,其特征在于,所述的母环(1)与所述的凸起(12)一体成型。
7.根据权利要求3所述的一种扩晶环结构,其特征在于,所述的子环(2)与所述的凹槽(21)一体成型。
8.根据权利要求7所述的一种扩晶环结构,其特征在于,所述的母环(1)上设有辨别方向的第一注胶口(13),所述的子环(2)上设有辨别方向的第二注胶口(22)。
9.根据权利要求8所述的一种扩晶环结构,其特征在于,所述的切割槽(11)的深度D为1-3mm。
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