[实用新型]一种半自动扩晶机有效

专利信息
申请号: 202021256131.3 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN212209542U 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 王立彦;王星 申请(专利权)人: 东莞伏尔甘自动化设备有限公司
主分类号: H01L33/48 分类号: H01L33/48;H01L21/67
代理公司: 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 代理人: 朱亲林
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 半自动 扩晶机
【权利要求书】:

1.一种半自动扩晶机,其包括有基架(1)、母环压膜组件(2)和子环压膜组件(3),所述的母环压膜组件(2)和所述的子环压膜组件(3)均设置在所述的基架(1)上,所述的母环压膜组件(2)位于所述的子环压膜组件(3)的上方,并向下对所述的子环压膜组件(3)压合;其特征在于,所述的子环压膜组件(3)包括下扩晶盘(31)和第一驱动件(32),所述的第一驱动件(32)设置在基架(1)的下方并连接所述的下扩晶盘(31);所述的母环压膜组件(2)包括有上扩晶盘(21)和第二驱动件(22),所述的第二驱动件(22)设置在基架(1)的上方并连接所述的上扩晶盘(21),所述的下扩晶盘(31)与所述的上扩晶盘(21)通过第一驱动件(32)和第二驱动件(22)带动压合;所述的下扩晶盘(31)装设用于切割蓝膜的切割刀(33),所述的切割刀(33)在压合时切除多余的蓝膜。

2.根据权利要求1所述的一种半自动扩晶机,其特征在于,所述的下扩晶盘(31)设有至少一个用于固定子环的玻珠固定件(314)。

3.根据权利要求2所述的一种半自动扩晶机,其特征在于,所述的子环压膜组件(3)还包括有盛放框架(34),所述的盛放框架(34)设置在所述的基架(1)上,且所述的盛放框架(34)套设在所述的下扩晶盘(31)外边。

4.根据权利要求3所述的一种半自动扩晶机,其特征在于,所述的母环压膜组件(2)还包括有压膜框架(23)和第三驱动件(25),所述的第三驱动件(25)设置在所述的基架(1)上方,所述的第三驱动件(25)与所述的压膜框架(23)连接,所述的压膜框架(23)套设在所述的上扩晶盘(21)外边,所述的第三驱动件(25)带动所述的压膜框架(23)向下活动并与所述的盛放框架(34)配合压紧。

5.根据权利要求1所述的一种半自动扩晶机,其特征在于,上扩晶盘(21)设有至少两个用于卡紧母环的夹持组件(211),上扩晶盘(21)设有用于安放母环的坑位(212)。

6.根据权利要求4所述的一种半自动扩晶机,其特征在于,所述的母环压膜组件(2)还包括有脱膜件(24)和第四驱动件(26),所述的第四驱动件(26)设置在所述的压膜框架(23)上,所述的第四驱动件(26)连接所述的脱膜件(24),所述的第四驱动件(26)带动所述的脱膜件(24)向下做脱膜运动。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种半自动扩晶机,其特征在于,所述的半自动扩晶机还包括有夹膜组件(4),所述的夹膜组件(4)设置在基架(1)上方,且位于所述的母环压膜组件(2)后方。

8.根据权利要求7所述的一种半自动扩晶机,其特征在于,所述的夹膜组件(4)包括有夹膜支架(41)、翻转组件(42)和夹取组件(43),所述的夹膜支架(41)设置在所述的基架(1)上,所述的翻转组件(42)设置在基架(1)和所述的夹膜支架(41)之间,所述的夹取组件(43)设置在翻转组件(42)上。

9.根据权利要求8所述的一种半自动扩晶机,其特征在于,所述的翻转组件(42)包括有第五驱动件(421)、旋转支杆(422)、推动支杆(423)和连接件(424),所述的推动支杆(423)与所述的旋转支杆(422)铰接,所述的推动支杆(423)与所述的第五驱动件(421)连接,所述的旋转支杆(422)旋转架设在夹膜支架(41)上,所述的连接件(424)连接在所述的旋转支杆(422)上,所述的第五驱动件(421)是设置在基架(1)上。

10.根据权利要求9所述的一种半自动扩晶机,其特征在于,夹取组件(43)包括有第六驱动件(431)和夹爪(432),所述的第六驱动件(431)设置在所述的连接件(424)上,所述的夹爪(432)设置在所述的第六驱动件(431)上。

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