[实用新型]真空载物台有效
| 申请号： | 202021258454.6 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN212444940U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 唐浩;程久阳;周全国;兰荣华;王志东;周丽佳;张青;徐丽蓉 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 刘红彬 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空载 | ||
1.一种真空载物台，其特征在于，包括：
基台；
设置于所述基台的上表面的吸附装置，所述吸附装置包括多个真空阀以及与多个所述真空阀连通的真空吸嘴，所述真空阀与所述真空吸嘴一一对应；
设置于所述基台的上表面、位于所述吸附装置至少一侧的刚性支撑装置，所述刚性支撑装置具有支撑面。
2.根据权利要求1所述的真空载物台，其特征在于，所述刚性支撑装置包括：
支撑杆，所述支撑杆与所述基台的上表面垂直；
刚性支撑块，所述刚性支撑块可沿所述支撑杆的延伸方向移动地安装于所述支撑杆。
3.根据权利要求2所述的真空载物台，其特征在于，所述支撑杆的外壁具有外螺纹；
所述刚性支撑块具有与所述外螺纹配合的螺纹孔。
4.根据权利要求1所述的真空载物台，其特征在于，所述真空载物台还包括调节机构；
所述刚性支撑装置可沿所述调节机构的延伸方向移动地安装于所述调节机构，所述调节机构用于引导所述刚性支撑装置在与所述基台的表面平行的平面上移动。
5.根据权利要求4所述的真空载物台，其特征在于，所述调节机构包括滑槽；
所述滑槽设置于所述基台的上表面，所述刚性支撑装置能够沿所述滑槽的延伸方向移动。
6.根据权利要求1所述的真空载物台，其特征在于，所述真空载物台还包括支撑装置；
所述支撑装置包括连接部件以及安装部件，所述连接部件的一部分与所述基台的上表面连接，另一部分与所述安装部件连接；
所述吸附装置安装于所述安装部件。
7.根据权利要求6所述的真空载物台，其特征在于，所述连接部件为伸缩杆。
8.根据权利要求1-7任一项所述的真空载物台，其特征在于，所述真空载物台还包括用于实时检测所述吸附装置吸力均匀性的压力传感器。
9.根据权利要求8所述的真空载物台，其特征在于，所述吸附装置和所述压力传感器均为多个，且所述吸附装置和所述压力传感器一一对应。
10.根据权利要求9所述的真空载物台，其特征在于，所述压力传感器安装于所述刚性支撑装置的支撑面。
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