[实用新型]真空载物台

说明书

本实用新型涉及载物台技术领域,公开了一种真空载物台,该真空载物台包括：基台；设置于基台的上表面的吸附装置，吸附装置包括真空阀和真空吸嘴；设置于基台的上表面、位于吸附装置至少一侧的刚性支撑装置。使用时先将产品放置于真空载物台上，用真空吸嘴吸附产品，再令产品与刚性支撑装置接触，以令刚性支撑装置起到支撑产品的作用。由于吸附装置对产品有吸附力，刚性支撑装置又会给产品一个与吸附力方向相反的支持力，能够保证产品受到的力互相平衡；且由于产品与刚性支撑装置之间为硬接触，当真空载物台高速移动时，有效减小了产品的抖动和偏移。

技术领域

本实用新型涉及载物台的技术领域，尤其是涉及一种真空载物台。

背景技术

显示面板等一些产品在生产、测试、清洗等过程中需要放置在真空吸附载台上吸附住，然后才能进行相应处理；部分工艺步骤对载台的稳定性要求较高，待加工产品放置在载台上后，载台需要高速移动，且在此过程中需保证产品不发生偏移和抖动。

现有技术中，载台大多通过数个弹性真空吸嘴吸附产品，由于吸嘴具有弹性、且不同细吸嘴之间的吸附力差异不便调节，因此当载台高速移动时，产品容易发生抖动和偏移。

实用新型内容

本实用新型提供了一种真空载物台，上述真空载物台能够有效地减小处理产品过程中产品抖动和偏移的现象的发生。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种真空载物台，包括：基台；设置于基台的上表面的吸附装置，吸附装置包括多个真空阀以及多个与真空阀连通的真空吸嘴，真空阀与吸嘴一一对应；设置于基台的上表面、位于吸附装置至少一侧的刚性支撑装置，刚性支撑装置具有支撑面。

本实用新型提供的真空载物台，当需要处理产品时，先将产品放置于真空载物台上，再用吸附装置将产品吸附，接着令产品与刚性支撑装置接触，以令刚性支撑装置起到支撑产品的作用，然后开始对产品进行处理。

这种设置方式，处理产品过程中，由于吸附装置对产品有吸附力，而刚性支撑装置又会给产品一个与吸附力方向相反的支持力，能够保证产品受到的力互相平衡；且由于产品与刚性支撑装置之间为硬接触，则当真空载物台高速移动时，产品与真空载物台之间能够保证相对稳定，能够有效地减小处理产品过程中产品的抖动和偏移；因此，这种真空载物台能够令产品在处理过程中更加稳定，从而保障产品处理效果。

可选地，刚性支撑装置包括：支撑杆，支撑杆与基台的上表面垂直；刚性支撑块，刚性支撑块可沿支撑杆的延伸方向移动地安装于支撑杆。

可选地，支撑杆的外壁具有外螺纹；刚性支撑块具有与外螺纹配合的螺纹孔。

可选地，真空载物台还包括调节机构；刚性支撑装置可沿调节机构的延伸方向移动地安装于调节机构，调节机构用于引导刚性支撑装置在与基台的表面平行的平面上移动。

可选地，调节机构包括滑槽；滑槽设置于基台的上表面，刚性支撑装置能够沿滑槽的延伸方向移动。

可选地，真空载物台还包括支撑装置；支撑装置包括连接部件以及安装部件，连接部件的一部分与基台的表面连接，另一部分与安装部件连接；吸附装置安装于安装部件。

可选地，连接部件为伸缩杆。

可选地，真空载物台还包括用于实时检测吸附装置吸力均匀性的压力传感器。

可选地，吸附装置和压力传感器均为多个，且吸附装置和压力传感器一一对应。

可选地，压力传感器安装于刚性支撑装置的支撑面。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的真空载物台的侧视图；

图2为本实用新型实施例提供的一种真空载物台的俯视图；