[实用新型]一种基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置

权利要求书

1.一种基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，包括：

上盖组件；

下盘体组件，设置在所述上盖组件下方，所述下盘体组件与所述上盖组件组合形成加热腔体；

加热组件，安装在所述下盘体组件内部；

温度调节组件，安装在所述下盘体组件内部，对所述加热组件进行温度补偿与调节；以及

通风组件，安装在所述上盖组件上，在所述加热腔体内部排入、排出气体以维持所述加热腔体内的气流稳定。

2.根据权利要求1所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述上盖组件包括依次设置的外层盖、中层盖和内层盖，所述中层盖连接有多个中层盖支撑柱，所述中层盖支撑柱与所述外层盖连接，所述中层盖连接有多个内层盖支撑柱，所述内层盖支撑柱与所述内层盖连接。

3.根据权利要求2所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述外层盖下表面与所述中层盖上表面之间设置有均匀排气腔，所述中层盖下表面与所述内层盖上表面之间设置有均匀进气腔。

4.根据权利要求3所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述通风组件包括安装在所述外层盖上表面的通气块，所述通气块的进气端连接有进气管，所述通气块的排气端连接有排气管，所述进气管与所述均匀进气腔相互导通，所述排气管与所述均匀排气腔相互导通。

5.根据权利要求3所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述内层盖表面还设置有多个出气孔，所述均匀进气腔内部的气体通过出气孔排入到所述加热腔体内部。

6.根据权利要求4所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述均匀排气腔与所述通气块的排气端之间通过中层排气通道连接，所述中层排气通道安装在所述中层盖上，所述均匀进气腔与所述通气块的进气端之间通过内层进气通道连接，所述内层进气通道安装在所述内层盖上。

7.根据权利要求1所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述加热组件为陶瓷加热器。

8.根据权利要求1所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述温度调节组件包括至少一个背部温度补偿器，所述背部温度补偿器设置在所述加热组件背部，所述背部温度补偿器与所述加热组件之间形成温度控制区。

9.根据权利要求8所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述温度调节组件还包括边缘温度补偿器，所述边缘温度补偿器设置在所述加热组件的外边缘，并对所述加热组件进行温度补偿。

10.根据权利要求8或9所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述背部温度补偿器为背部降温块。

11.根据权利要求8或9所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述背部温度补偿器内部还设置有用于通入冷却气体的补偿通道。

12.根据权利要求11所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述下盘体组件包括固定座，所述固定座内部设置有封板，所述加热组件安装在所述固定座上，且所述背部温度补偿器设置在所述封板上。

13.根据权利要求12所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述固定座与外层盖之间设置有气流交换通道，所述气流交换通道与均匀排气腔相互导通，所述补偿通道通入的冷却气体通过所述气流交换通道排入所述均匀排气腔。

14.根据权利要求12所述的基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，其特征在于，所述固定座上表面还设置有多个安装螺纹孔，所述安装螺纹孔内部螺纹连接有晶圆定位导柱，所述晶圆定位导柱中心处还设置有通孔。