[实用新型]一种MEMS气体质量流量计

权利要求书

1.一种MEMS气体质量流量计，包括MEMS气体质量流量计的传感器(5)，所述传感器(5)上设有测量杆(4)，所述测量杆(4)贯通安装在管道(1)内，所述传感器(5)上设有信号线穿线孔，其特征在于，所述管道(1)上设有空心的防护套(2)，所述防护套(2)内穿设有石棉衬套(3)，所述测量杆(4)紧配穿进石棉衬套(3)内。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS气体质量流量计，其特征在于，所述防护套(2)由铝合金材质制成。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS气体质量流量计，其特征在于，所述防护套(2)适用螺钉连接在管道(1)上。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS气体质量流量计，其特征在于，所述石棉衬套(3)径向内壁厚度不小于1cm。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS气体质量流量计，其特征在于，所述传感器(5)上设有用于对外部信号线进行夹持的防松脱结构。

6.根据权利要求5所述的一种MEMS气体质量流量计，其特征在于，所述防松脱结构包括固设于传感器(5)外壁上的安装座(6)，所述安装座(6)上设有弹性夹头，所述弹性夹头包括一体且同轴的柱段(13)、圆台段(8)，所述圆台段(8)直径沿柱段(13)轴向自内至外依次递增，其上同轴设有用于对外部信号线进行夹持的、通孔形式的夹持孔(7)，所述圆台段(8)外锥面上沿其轴向阵列开设有多个与夹持孔(7)连通的、缺口形式的条形槽(12)，所述安装座(6)上设有供柱段(13)滑配插合的、且与信号线穿线孔连通的、通孔形式的安装孔，其上还设有与所述圆台段(8)外形适配的、且供圆台段(8)滑配卡合的锥槽(14)，所述安装座(6)上螺纹套装有锁紧盖(9)，所述锁紧盖(9)上设有供外部信号线自由通过的避空槽(10)，所述锁紧盖(9)朝向圆台段(8)一面同轴设有环形的压块(11)，所述压块(11)表面与圆台段(8)的轴端面相抵，所述锁紧盖(9)在安装座(6)上螺纹旋合时，驱动所述压块(11)抵顶圆台段(8)轴端面，并使所述圆台段(8)在锥槽(14)内滑动。