[实用新型]一种MEMS气体质量流量计

说明书

本实用新型涉及气体流量计技术领域，具体涉及一种MEMS气体质量流量计，包括MEMS气体质量流量计的传感器，传感器上设有测量杆，测量杆贯通安装在管道内，传感器上设有信号线穿线孔，管道上设有空心的防护套，防护套内穿设有石棉衬套，测量杆紧配穿进石棉衬套内。本实用新型的有益效果：通过石棉衬套的隔热作用，降低外界温度对测量杆的热传递影响，减少对传感器测量误差，通过夹持结构中锁紧盖在安装座上的螺纹旋合，使压块抵顶圆台段，驱动圆台段在锥槽内滑动，同时圆台段上设置的条形槽，使得圆台段的外锥面产生向其径向内侧的弹性，进而使夹持孔内壁弹性，将外部的信号线夹紧，避免信号线从传感器上脱落，造成检测中断。

技术领域

本实用新型涉及气体流量计技术领域，具体涉及一种MEMS气体质量流量计。

背景技术

气体质量流量计是计量气体流量的仪表，安装在管路中记录流过的气体量。可以测量高炉煤气流量计、焦炉煤气质量流量计、煤气、空气、氮气、乙炔、氢气、天然气等等。

一般的热式气体质量流量计采用热扩散原理，其典型传感元件包括两个热电阻(铂RTD)，一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器，当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，两一个温度传感器用于感应介质温度，流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的，气体流速增加，介质带走的热量增多，使传感器温度随之降低，而为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。

现有技术中的基于MEMS传感器的气体质量流量计上的测量杆暴露在外部，当外部环境温度产生变化时，经由热传递作用，容易使得测量杆内部待测量的气体温度产生一定的变化，因此可能产生传感器检测误差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的问题，提供一种MEMS气体质量流量计，它可以实现至少一定程度上解决现有技术的问题。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种MEMS气体质量流量计，包括MEMS气体质量流量计的传感器，所述传感器上设有测量杆，所述测量杆贯通安装在管道内，所述传感器上设有信号线穿线孔，所述管道上设有空心的防护套，所述防护套内穿设有石棉衬套，所述测量杆紧配穿进石棉衬套内。

作为如上所述技术方案的进一步优化，所述防护套由铝合金材质制成。

作为如上所述技术方案的进一步优化，所述防护套适用螺钉连接在管道上。

作为如上所述技术方案的进一步优化，所述石棉衬套径向内壁厚度不小于1cm。

作为如上所述技术方案的进一步优化，所述传感器上设有用于对外部信号线进行夹持的防松脱结构。

作为如上所述技术方案的进一步优化，所述防松脱结构包括固设于传感器外壁上的安装座，所述安装座上设有弹性夹头，所述弹性夹头包括一体且同轴的柱段、圆台段，所述圆台段直径沿柱段轴向自内至外依次递增，其上同轴设有用于对外部信号线进行夹持的、通孔形式的夹持孔，所述圆台段外锥面上沿其轴向阵列开设有多个与夹持孔连通的、缺口形式的条形槽，所述安装座上设有供柱段滑配插合的、且与信号线穿线孔连通的、通孔形式的安装孔，其上还设有与所述圆台段外形适配的、且供圆台段滑配卡合的锥槽，所述安装座上螺纹套装有锁紧盖，所述锁紧盖上设有供外部信号线自由通过的避空槽，所述锁紧盖朝向圆台段一面同轴设有环形的压块，所述压块表面与圆台段的轴端面相抵，所述锁紧盖在安装座上螺纹旋合时，驱动所述压块抵顶圆台段轴端面，并使所述圆台段在锥槽内滑动。