[实用新型]一种适于半导体晶片储蓄花篮的装卸输送线有效
| 申请号： | 202021270757.X | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN212342590U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 杨鹏飞;金华;杨黎明 | 申请（专利权）人： | 无锡市泰瑞电子设备制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 赵亚飞 |
| 地址： | 214100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适于 半导体 晶片 储蓄 花篮 装卸 输送 | ||
1.一种适于半导体晶片储蓄花篮的装卸输送线，其特征在于：包括第一输送线(81)、第二输送线(82)、拆装平台(1)和衔接所述第一输送线(81)、第二输送线(82)与所述拆装平台(1)间物流输送的传送架(8)；
所述传送架(8)内设有可沿所述传送架(8)上下运动的输送平台(80)；所述输送平台(80)可将所述第一输送线(81)上的载件托盘转运至所述拆装平台(1)，并将处理后的载件托盘转运至所述第二输送线(82)；
所述拆装平台(1)包括拆装支架(10)、设置在所述拆装支架(10)底部的拆装工位(11)和设置在所述拆装支架(10)上可相对所述拆装工位(11)往复运动的吸盘组件(2)；所述吸盘组件(2)包括吸盘支架(20)和设置在所述吸盘支架(20)上的吸盘(21)。
2.根据权利要求1所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮的装卸输送线，其特征在于：所述拆装支架(10)上设有直线滑轨(24)，所述吸盘支架(20)一侧设有升降杆(23)，所述升降杆(23)两侧设有匹配所述直线滑轨(24)的滑块(234)，所述升降杆(23)可在升降气缸(29)作用下，带动所述吸盘支架(20)沿所述直线滑轨(24)运动。
3.根据权利要求1所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮的装卸输送线，其特征在于：所述拆装支架(10)上，在所述拆装工位(11)上方还设有固定工位杆(22)，所述固定工位杆(22)上设有防跌落机构(3)；所述防跌落机构(3)包括第一驱动(31)、驱动杆(32)、防跌挡块(34)和支座(35)；所述驱动杆(32)前端与所述防跌挡块(34)销末端连接；所述防跌挡块(34)与所述支座(35)间设有支撑板(33)。
4.根据权利要求1所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮的装卸输送线，其特征在于：所述第一输送线(81)水平高度高于所述第二输送线(82)；所述第一输送线(81)上设有匹配所述输送平台(80)的第一转运平台(810)；所述第二输送线(82)上设有匹配所述输送平台(80)的第二转运平台(820)。
5.根据权利要求3所述的一种适于半导体晶片储蓄花篮的装卸输送线，其特征在于：所述固定工位杆(22)上还设有连接所述拆装支架(10)的加强杆(25)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
