[实用新型]一种电磁屏蔽膜制备装置

权利要求书

1.一种电磁屏蔽膜制备装置，其特征在于：至少包括真空腔（100）、放卷辊（200）、收卷辊（300）、第一冷却辊（400）、第二冷却辊（500）、导向辊（600）以及磁控溅射装置（700），所述真空腔（100）的内部设置有分区隔板（110）且分区隔板（110）上开设有供电磁屏蔽膜通过的通孔（111），所述分区隔板（110）的两侧分别为卷绕区（120）以及镀膜区（130），所述卷绕区（120）的内部设置有上下位置对称的放卷辊（200）以及收卷辊（300），所述镀膜区（130）的内部设置有第一冷却辊（400）以及第二冷却辊（500），所述放卷辊（200）与第二冷却辊（500）之间以及收卷辊（300）与第一冷却辊（400）之间皆设置有多个导向辊（600），所述第一冷却辊（400）以及第二冷却辊（500）的外圆周皆设置有至少两个呈环形阵列排布的磁控溅射装置（700）。

2.根据权利要求1所述的一种电磁屏蔽膜制备装置，其特征在于：位于第一冷却辊（400）外圆周的磁控溅射装置（700）的数量为两个而位于第二冷却辊（500）外圆周的磁控溅射装置（700）的数量为六个。

3.根据权利要求1所述的一种电磁屏蔽膜制备装置，其特征在于：所述真空腔（100）的横截面呈矩形。

4.根据权利要求1所述的一种电磁屏蔽膜制备装置，其特征在于：所述卷绕区（120）的内部还设置有加热器（800）以及离子源（900）。

5.根据权利要求4所述的一种电磁屏蔽膜制备装置，其特征在于：所述离子源（900）为矩形离子源。