[实用新型]一种电磁屏蔽膜制备装置有效
申请号: | 202021287341.9 | 申请日: | 2020-07-05 |
公开(公告)号: | CN212955322U | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 曾庆熙;魏明强;杨延远;王文华 | 申请(专利权)人: | 山东劲拓新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 274000 山东省菏泽市定陶区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电磁 屏蔽 制备 装置 | ||
本实用新型公开了一种电磁屏蔽膜制备装置,至少包括真空腔,所述真空腔的内部设置有分区隔板且分区隔板上开设有通孔,所述分区隔板的两侧分别为卷绕区以及镀膜区,所述卷绕区的内部设置有放卷辊以及收卷辊,所述镀膜区的内部设置有第一冷却辊以及第二冷却辊,所述放卷辊与第二冷却辊之间以及收卷辊与第一冷却辊之间皆设置有多个导向辊,所述第一冷却辊以及第二冷却辊的外圆周皆设置有至少两个磁控溅射装置。本实用新型通过将放卷辊、收卷辊、第一冷却辊、第二冷却辊以及磁控溅射装置放置于同一真空腔中,使得本实用新型结构更加紧凑,进而减小了本实用新型的体积,从而减少了本实用新型的占地空间,降低了本实用新型的成本,值得大力推广使用。
技术领域
本实用新型涉及电磁屏蔽膜的技术领域,具体是一种电磁屏蔽膜制备装置。
背景技术
电磁屏蔽是电磁兼容工程中广泛采用的抑制电磁骚扰的有效装置之一。随着各种电子设备的广泛应用,很多关键、重要部门应用光学窗的场合,如电子设备的观察窗口(LCD显示器、OLED等数码显示屏幕、雷达显示器、精密仪器、仪表等显示器窗口)、建筑物重点部位的观察窗(采光屏蔽窗、屏蔽室可视窗、可视隔断屏风等)、要求电磁屏蔽的机柜、指挥仪方舱、通讯车观察窗等,都要求光学窗在可见波段具有高透射低反射的光学特性,同时还具有较强的宽波段电磁屏蔽能力,防止电磁信息泄漏,防护电磁辐射污染;有效保障仪器设备正常工作,保障机密信息的安全。
现有的电磁屏蔽膜在生产过程中一般需要进行多次镀膜,多个镀膜室一般采用采用直线式并排安装,使得电磁屏蔽膜制备装置的体积较为臃肿,占地空间大,设备成本较高。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种电磁屏蔽膜制备装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种电磁屏蔽膜制备装置,至少包括真空腔、放卷辊、收卷辊、第一冷却辊、第二冷却辊、导向辊以及磁控溅射装置,所述真空腔的内部设置有分区隔板且分区隔板上开设有供电磁屏蔽膜通过的通孔,所述分区隔板的两侧分别为卷绕区以及镀膜区,所述卷绕区的内部设置有上下位置对称的放卷辊以及收卷辊,所述镀膜区的内部设置有第一冷却辊以及第二冷却辊,所述放卷辊与第二冷却辊之间以及收卷辊与第一冷却辊之间皆设置有多个导向辊,所述第一冷却辊以及第二冷却辊的外圆周皆设置有至少两个呈环形阵列排布的磁控溅射装置。
作为本实用新型进一步的方案:位于第一冷却辊外圆周的磁控溅射装置的数量为两个而位于第二冷却辊外圆周的磁控溅射装置的数量为六个。
作为本实用新型进一步的方案:所述真空腔的横截面呈矩形。
作为本实用新型进一步的方案:所述卷绕区的内部还设置有加热器以及离子源。
作为本实用新型进一步的方案:所述离子源为矩形离子源。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:通过上述方案,本实用新型结构简单,造型新颖,通过将放卷辊、收卷辊、第一冷却辊、第二冷却辊以及磁控溅射装置放置于同一真空腔中,使得本实用新型结构更加紧凑,进而减小了本实用新型的体积,从而减少了本实用新型的占地空间,降低了本实用新型的成本,值得大力推广使用。
附图说明
图1为一种电磁屏蔽膜制备装置的原理示意图。
图2为图1中A处的放大结构示意图。
图3为图1中B处的放大结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
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