[实用新型]一种硅片取片机构

说明书

本实用新型提出一种硅片取片机构。所述硅片取片机构包括，第一吸片部，所述第一吸片部能够沿第一方向吸附硅片；连接于第一吸片部的第一线性驱动部，所述第一线性驱动部能够使第一吸片部沿第一方向运动；第二吸片部，能够沿第一方向吸附硅片；所述第一吸片部与所述第二吸片部沿第一方向相向设置；采用第一吸片部和第二吸片部从硅片两侧吸附并分离的方式从而使相互吸附的多张硅片分离；保证了所述硅片取片机构仅取一片硅片，从而防止同时取多张硅片影响后续工序。

技术领域

本实用新型涉及一种硅片取片机构。

背景技术

对于堆叠放置的硅片，容易造成多张（一般为两张）硅片相互吸附在一起取片；为后续对硅片进行的工艺产生障碍；为此需要保证取出的硅片为单张。

实用新型内容

为保证取出的硅片为单张，本实用新型提出一种硅片取片机构。

本实用新型的技术方案为：所述硅片取片机构包括，第一吸片部，所述第一吸片部能够沿第一方向吸附硅片；连接于第一吸片部的第一线性驱动部，所述第一线性驱动部能够使第一吸片部沿第一方向运动；第二吸片部，能够沿第一方向吸附硅片；所述第一吸片部与所述第二吸片部沿第一方向相向设置。

进一步的，所述第一方向为竖直方向。

进一步的，第一吸片部/第二吸片部连接有第二线性驱动部，所述第二线性驱动部能够带动第一吸片部/第二吸片部沿第二方向运动；所述第二方向与第一方向夹角为θ，0°θ180°。

进一步的，θ=90°。

进一步的，所述第一吸片部和/或第二吸片部的吸力小于硅片碎片极限力Fa，且第一吸片部大于第二吸片部吸力。

进一步的，第一吸片部/第二吸片部连接有旋转驱动部。

进一步的，所述旋转驱动部能够沿第一方向旋转。

本实用新型的有益效果在于：采用第一吸片部和第二吸片部从硅片两侧吸附并分离的方式从而使相互吸附的多张硅片分离；保证了所述硅片取片机构仅取一片硅片，从而防止同时取多张硅片影响后续工序。

附图说明

图1为本实用新型硅片取片机构实施例一示意图；

图2为本实用新型硅片取片机构实施例二示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1和图2所示，一种硅片取片机构100，所述硅片取片机构100包括，第一吸片部20，所述第一吸片部20能够沿第一方向a吸附硅片w；连接于第一吸片部20的第一线性驱动部30，所述第一线性驱动部30能够使第一吸片部20沿第一方向a运动；第二吸片部40，能够沿第一方向a吸附硅片；所述第一吸片部20与所述第二吸片部40沿第一方向a相向设置；即所述第一吸片部20和第二吸片部40能够在硅片w两侧吸附；当硅片w为多个硅片时，第一吸片部20和第二吸片部40分别吸附一张硅片w，通过第一线性驱动部30驱动第一吸片部20相对于第二吸片部40运动，从而将相互吸附的硅片w分离。

采用上述技术方案：采用第一吸片部20和第二吸片部40从硅片w两侧吸附并分离的方式从而使相互吸附的多张硅片w分离；保证了所述硅片取片机构100仅取一片硅片w，从而防止同时取多张硅片w影响后续工序。

如图1和图2所示，所述第一方向a为竖直方向；从而保证硅片w沿竖直方向吸附，便于第一吸片部20和第二吸片部40的安装调试。