[实用新型]水平湿制程治具

权利要求书

1.一种水平湿制程治具，其特征在于，包括弧面形成本体以及连接于该弧面形成本体的定位件，该弧面形成本体具有弧面基准部，该弧面基准部的侧面呈弧形状，该弧面基准部供可挠性平面基板贴服其上方表面，形成弧状可挠性基板，该定位件供该弧状可挠性基板定位于该弧面基准部，使该弧状可挠性基板形成所设定的弧面。

2.如权利要求1所述的水平湿制程治具，其特征在于：该定位件具有嵌合部，该嵌合部连接于该弧面基准部的侧部，该弧状可挠性基板置入该嵌合部以定位于该弧面基准部的上方表面。

3.如权利要求1所述的水平湿制程治具，其特征在于：该弧面基准部包含有第一侧边、中央弧面部及相对于第一侧边的第二侧边，且该中央弧面部的中心线为最高弯曲位置，再朝向该第一侧边及该第二侧边逐渐降低高度，直至该第一侧边及该第二侧边为最低位置。

4.如权利要求1所述的水平湿制程治具，其特征在于：该弧面形成本体具有中空部，于该弧面形成本体相对两侧横跨该中空部连接有支撑肋。

5.如权利要求4所述的水平湿制程治具，其特征在于：该弧面形成本体的支撑肋为复数间隔设置。

6.如权利要求1所述的水平湿制程治具，其特征在于：该弧面形成本体的周边设置有复数个贯穿弧面形成本体上下表面的泄流孔，且该泄流孔一侧连通于该嵌合部。

7.如权利要求1所述的水平湿制程治具，其特征在于：该定位件具有滑轮槽，该弧面形成本体的周边设置有复数个贯穿该弧面形成本体的上下表面的泄流孔，该滑轮槽与复数个泄流孔相连通。

8.如权利要求1所述的水平湿制程治具，其特征在于：该弧面形成本体还设置有复数个堆叠肋，复数个堆叠肋邻近该弧面基准部，利用复数个堆叠肋将相邻的该治具相叠合。

9.如权利要求1所述的水平湿制程治具，其特征在于：该定位件还包括复数个间隔设置的夹具。