[实用新型]一种硅片搬运机构

说明书

本实用新型提出一种硅片搬运机构。所述硅片搬运机构包括，用于搬运硅片的搬运部安装于机架；用于分离硅片的毛刷部运动安装于机架；所述毛刷部能够沿搬运部搬运的硅片边沿止抵于硅片，使毛刷部上的毛刷能够进入相互吸附的硅片之间；采用上述技术方案，通过采用毛刷插入相互吸附的硅片从而使硅片分离；此方案不同于常规采用气流使硅片分离；上述技术方案结构简单，仅需要毛刷部以及带动毛刷部运动的结构，结构简单，操作方便。

技术领域

本实用新型涉及一种硅片搬运机构。

背景技术

多张硅片重叠堆放后，由于硅片翘曲造成相邻硅片吸附在一起；当需要将硅片单片取出，由于硅片的相互吸附造成取片错误影响硅片的后续工序；故需要采取方案保证取出的硅片并不是吸附在一起的多张硅片。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种硅片搬运机构技术方案。

本实用新型的技术方案为：所述硅片搬运机构包括，用于搬运硅片的搬运部安装于机架；用于分离硅片的毛刷部运动安装于机架；所述毛刷部能够沿搬运部搬运的硅片边沿止抵于硅片，使毛刷部上的毛刷能够进入相互吸附的硅片之间。

进一步的，所述搬运部设置有吸嘴，所述吸嘴用于吸附硅片。

进一步的，所述毛刷部为多个，所述多个毛刷部沿搬运部搬运的硅片设置。

进一步的，所述毛刷部通过直线运动气缸安装于机架。

进一步的，所述吸嘴沿竖直方向设置，使所述吸嘴能够沿竖直方向吸附硅片。

进一步的，所述毛刷部旋转安装于机架。

本实用新型的有益效果在于：采用上述技术方案，通过采用毛刷插入相互吸附的硅片从而使硅片分离；此方案不同于常规采用气流使硅片分离；上述技术方案结构简单，仅需要毛刷部以及带动毛刷部运动的结构，结构简单，操作方便。

附图说明

图1为毛刷部为直线运动的硅片搬运机构示意图；

图2为毛刷部为旋转运动的硅片搬运机构示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1所示，一种硅片搬运机构100，所述搬运机构100包括，用于搬运硅片20的搬运部30安装于机架40；用于分离硅片20的毛刷部50运动安装于机架40；所述毛刷部50能够沿搬运部30搬运的硅片20边沿止抵于硅片20，使毛刷部50上的毛刷51能够进入相互吸附的硅片20之间；此处并不要求所有的毛刷51均进入相互吸附硅片20的缝隙，只需要部分或少量毛刷进入硅片20缝隙即可；翘曲的硅片20相互吸附，相邻的硅片20在边沿有未吸附的缝隙，通过采用将毛刷51沿相互吸附硅片20的吸附边沿插入的技术方案，从而使相互吸附的硅片20分离。

采用上述技术方案，通过采用毛刷51插入相互吸附的硅片从而使硅片分离；此方案不同于常规采用气流使硅片20分离；上述技术方案结构简单，仅需要毛刷部50以及带动毛刷部50运动的结构，结构简单，操作方便。

如图1所示，所述搬运部30设置有吸嘴31，所述吸嘴31用于吸附硅片20；采用真空吸附硅片20的取片方式，使吸嘴31仅吸取一片硅片20，从而便于毛刷部50分离非吸附于吸嘴31的硅片。

采用上述技术方案，便于分离相互吸附的硅片20，从而保证毛刷部50实现对硅片20的分离。