[实用新型]一种半导体材料抛光装置

权利要求书

1.一种半导体材料抛光装置，包括底板（100），其特征在于，所述底板（100）两端的顶部均固定连接有支撑柱（102），两个所述支撑柱（102）的顶部分别与顶板（103）两端的底部固定连接，所述顶板（103）的顶部固定连接有矩形壳体（200），所述矩形壳体（200）的一端固连有电机一（202），所述电机一（202）的输出端转动连接有螺纹管（201），所述螺纹管（201）贯穿矩形壳体（200）两端的中心位置，所述螺纹管（201）的外侧壁旋合连接有滑动块（203），所述滑动块（203）的内侧壁与一号连接杆（204）的一端固定连接，所述一号连接杆（204）的另一端固定连接有电机二（205），所述电机二（205）的输出端转动连接有抛光盘（206），所述底板（100）的顶部固定连接有矩形框架（101），所述矩形框架（101）的上方设置有升降机构（300）；

所述升降机构（300）包括一号转动座（301），所述矩形框架（101）沿宽度方向的两端均固定连接有两个一号转动座（301），两个所述一号转动座（301）均通过转动轴一与二号连接杆（302）的一端转动连接，两个所述二号连接杆（302）的另一端之间转动连接有连接轴（303），所述连接轴（303）的中部转动连接有三号连接杆（304），所述三号连接杆（304）背离连接轴（303）的一端通过转动轴二与二号转动座（305）转动连接，所述二号转动座（305）背离转动轴二的一端与升降板（306）的底部固定连接，所述升降板（306）的顶部设置有夹紧机构（400）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料抛光装置,其特征在于，所述夹紧机构（400）包括夹紧板（401）和挤压块（402），所述夹紧板（401）一端的顶部固定连接有限位块（4012），所述夹紧板（401）的两侧均固定连接有限位柱二，所述挤压块（402）通过转动销轴（4021）与升降板（306）的顶部转动连接，且挤压块（402）一侧与夹紧板（401）贴靠，所述销轴（4021）与限位块（4012）之间固定连接有稳定弹簧（403）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体材料抛光装置,其特征在于，所述夹紧板（401）的中部开设有滑槽二，所述滑槽二的一端固定连接有限位柱一（4011）。

4.根据权利要求1所述的一种半导体材料抛光装置,其特征在于，所述升降板（306）的顶部开设有三个滑槽一，且滑槽一背离夹紧机构（400）的一端滑动连接有夹块（3051），所述夹块（3051）的顶部旋合连接有螺帽。

5.根据权利要求1所述的一种半导体材料抛光装置,其特征在于，所述升降板（306）的两端均固定连接有拉环。

6.根据权利要求1所述的一种半导体材料抛光装置,其特征在于，所述连接轴（303）的一端旋合连接有螺栓（3031）。