[实用新型]一种碳化硅炉炉底板升降旋开结构

权利要求书

1.一种碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，其特征在于，包括支撑座、旋转托架、回转支撑台和导向杆；支撑座有两个，沿竖向相对设置，两个支撑座间设有平行的支撑柱和导向杆，支撑柱上设有线性驱动组件；

所述回转支撑台一端通过第一滑套和第二滑套分别与导向杆和线性驱动组件相连，另一端与旋转托架相连，旋转托架上端面通过缓冲结构设有炉底板，炉底板能在线性驱动组件的作用下实现升降以及旋转运动；

所述支撑柱上设有多个限位传感器和限位组件，能发送信号至线性驱动组件，进而限位炉底板升降位置，限位组件，用于限位炉底板旋开角度。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，其特征在于，所述导向杆圆周面设有导向槽，用于对炉底板旋转运动时进行导向。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，其特征在于，所述限位组件位置能进行调整以满足炉底板位置定位需求。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，其特征在于，所述线性驱动组件包括电机、减速装置和滚珠丝杆。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，其特征在于，所述限位组件上设有自动吸合装置，用于实现炉底板旋开、旋回位置的固定。