[实用新型]一种碳化硅炉炉底板升降旋开结构

说明书

本实用新型涉及碳化硅单晶生长设备的结构设计领域，特别涉及一种碳化硅炉炉底板升降旋开结构。包括支撑座，支撑座有两个，沿竖向相对设置，两个支撑座间设有平行的支撑柱和导向杆，支撑柱上设有线性驱动组件；回转支撑台一端通过第一滑套和第二滑套分别与导向杆和线性驱动组件相连，另一端与旋转托架相连，旋转托架上端面通过缓冲结构设有炉底板，炉底板能在线性驱动组件的作用下实现升降以及旋转运动；支撑柱上设有多个限位传感器和限位组件。本实用新型一方面实现了炉底板升降旋开的自动化，另一方面实现炉底板升降、旋开、旋回的位置的控制，避免人工操作的不确定性。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅单晶生长设备的结构设计领域，特别涉及一种碳化硅炉炉底板升降旋开结构。

背景技术

目前碳化硅单晶生长设备普遍采用以下两种方法取放炉底板上的物料，一种是配置升降机构实现炉底板升降，使用该结构需要二次取放物料。另外一种是使用升降小车实现炉底板升降以及移栽，升降小车与设备位置对接操作较繁琐，操作过程中容易损坏物料，造成不必要的损失。因此碳化硅炉单晶生长设备配置一种炉底板同时具有升降以及移栽功能的结构意义重大。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术的不足，提供一种碳化硅炉炉底板升降旋开结构。

为解决上述的技术问题，本实用新型采用的解决方法是：

提供一种用于碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，包括支撑座、旋转托架、回转支撑台和导向杆；支撑座有两个，沿竖向相对设置，两个支撑座间设有平行的支撑柱和导向杆，支撑柱上设有线性驱动组件；

回转支撑台一端通过第一滑套和第二滑套分别与导向杆和线性驱动组件相连，另一端与旋转托架相连，旋转托架上端面通过缓冲结构设有炉底板，炉底板能在线性驱动组件的作用下实现升降以及旋转运动；

支撑柱上设有多个限位传感器和限位组件，能发送信号至线性驱动组件，进而限位炉底板升降位置，限位组件，用于限位炉底板旋开角度。

作为一种改进，导向杆圆周面设有导向槽，用于对炉底板旋转运动时进行导向。

作为一种改进，限位组件位置能进行调整以满足炉底板位置定位需求。

作为一种改进，线性驱动组件包括电机、减速装置和滚珠丝杆。

作为一种改进，限位组件上设有自动吸合装置，用于实现炉底板旋开、旋回位置的固定。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型一方面实现了炉底板升降旋开的自动化，另一方面实现炉底板升降、旋开、旋回的位置的控制，避免人工操作的不确定性。

附图说明

图1为炉底板升降旋开结构的整体结构示意图；

图2为炉底板升降旋开结构的工作过程示意图。

其中附图标记为：

1-支撑座，2-限位传感器，3-限位传感器，4-第一滑套，5-旋转托架，6-回转支撑台，7-第二滑套，8-线性驱动组件，9-导向杆，10-限位传感器，11-炉底板，12-缓冲结构，13-支撑托架，14-限位组件，15-减速装置，16-限位组件，17-电机。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细表述。

一种用于碳化硅炉炉底板的升降旋开结构，包括支撑座1、旋转托架5、回转支撑台6和导向杆9。支撑座1有两个，沿竖向相对设置，两个支撑座1间设有平行的支撑柱和导向杆9，支撑柱上设有线性驱动组件8。线性驱动组件8包括电机17、减速装置15和滚珠丝杆。