[实用新型]应用于扩散炉的拉取装置及拉取系统有效

专利信息
申请号: 202021307735.6 申请日: 2020-07-07
公开(公告)号: CN212253721U 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 燕超;徐嘉 申请(专利权)人: 吉林华微电子股份有限公司
主分类号: F27D99/00 分类号: F27D99/00;F27D19/00;H01L21/22
代理公司: 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 代理人: 唐维虎
地址: 132000 吉*** 国省代码: 吉林;22
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 应用于 扩散 装置 系统
【权利要求书】:

1.一种应用于扩散炉的拉取装置(100),其特征在于,用于对扩散炉内的石英套管进行拉取,所述拉取装置(100)包括底座(1)、承载件(2)、定位件(3)、抓取件(4)、第一电机(5)和第二电机(6);

所述底座(1)和所述承载件(2)活动连接;

所述承载件(2)设置有第一承载部(21)和第二承载部(22),所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间设置有导向杆(23);所述定位件(3)套设于所述导向杆(23)上;

所述抓取件(4)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间形成的开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸;所述第二电机(6)固定于所述定位件(3)并与所述抓取件(4)的所述另一端连接,以控制所述抓取件(4)对所述石英套管进行抓取;

所述第一承载部(21)的外侧壁设置有第一转动轮(71),所述第二承载部(22)的外侧壁设置有第二转动轮(72),所述第一转动轮(71)和所述第二转动轮(72)上绕设有传送带(73),所述传送带(73)与所述定位件(3)的结合部(31)固定连接;

所述第一电机(5)设置于所述第一承载部(21),并与所述第一转动轮(71)连接,以控制所述第一转动轮(71)转动从而带动所述传送带(73)运动,所述传送带(73)通过所述结合部(31)带动所述定位件(3)沿着所述导向杆(23)运动。

2.根据权利要求1所述的拉取装置(100),其特征在于,所述抓取件(4)包括连接杆(41)、第一固定板(42)和第二固定板(43);

所述连接杆(41)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸;

所述第一固定板(42)固定于所述连接杆(41)的所述另一端;

所述第二固定板(43)套设于所述连接杆(41),并与所述第二电机(6)连接。

3.根据权利要求2所述的拉取装置(100),其特征在于,所述第二电机(6)包括电机箱(61)和升降杠(62);

所述电机箱(61)固定于所述定位件(3)的容纳腔体(32)内;

所述升降杠(62)的一端与所述电机箱(61)固定连接、另一端依次穿过所述开口(24)和所述第二固定板(43)并固定于所述第一固定板(42),所述升降杠(62)与所述连接杆(41)平行。

4.根据权利要求2所述的拉取装置(100),其特征在于,所述第一固定板(42)的第一表面固定有第一夹持件(421),所述第二固定板(43)与所述第一表面相对的第二表面固定有第二夹持件(431);所述第一夹持件(421)和所述第二夹持件(431)为中部凹陷且边沿凸起的板状结构。

5.根据权利要求1所述的拉取装置(100),其特征在于,所述第一承载部(21)的外侧壁开设有连接孔,所述第一电机(5)的转轴穿过所述连接孔与所述第一转动轮(71)固定连接。

6.根据权利要求1所述的拉取装置(100),其特征在于,所述底座(1)包括底板(11)和支腿(12),所述支腿(12)与所述底板(11)固定连接并朝所述承载件(2)的方向延伸,所述支腿(12)包括具有插口(121)的插槽;所述承载件(2)的底壁设置有插杆(25),所述插杆(25)通过所述插口(121)插入所述插槽。

7.根据权利要求6所述的拉取装置(100),其特征在于,所述拉取装置还包括抵持件(8);所述支腿(12)开设有抵持孔(122);所述抵持件(8)部分穿过所述抵持孔(122),并与插入所述插槽内的插杆(25)抵持,通过作用于所述抵持件(8)使得所述抵持件(8)和所述插槽内的插杆(25)抵持或分离。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林华微电子股份有限公司,未经吉林华微电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021307735.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top