[实用新型]应用于扩散炉的拉取装置及拉取系统有效
申请号: | 202021307735.6 | 申请日: | 2020-07-07 |
公开(公告)号: | CN212253721U | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 燕超;徐嘉 | 申请(专利权)人: | 吉林华微电子股份有限公司 |
主分类号: | F27D99/00 | 分类号: | F27D99/00;F27D19/00;H01L21/22 |
代理公司: | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人: | 唐维虎 |
地址: | 132000 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应用于 扩散 装置 系统 | ||
1.一种应用于扩散炉的拉取装置(100),其特征在于,用于对扩散炉内的石英套管进行拉取,所述拉取装置(100)包括底座(1)、承载件(2)、定位件(3)、抓取件(4)、第一电机(5)和第二电机(6);
所述底座(1)和所述承载件(2)活动连接;
所述承载件(2)设置有第一承载部(21)和第二承载部(22),所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间设置有导向杆(23);所述定位件(3)套设于所述导向杆(23)上;
所述抓取件(4)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间形成的开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸;所述第二电机(6)固定于所述定位件(3)并与所述抓取件(4)的所述另一端连接,以控制所述抓取件(4)对所述石英套管进行抓取;
所述第一承载部(21)的外侧壁设置有第一转动轮(71),所述第二承载部(22)的外侧壁设置有第二转动轮(72),所述第一转动轮(71)和所述第二转动轮(72)上绕设有传送带(73),所述传送带(73)与所述定位件(3)的结合部(31)固定连接;
所述第一电机(5)设置于所述第一承载部(21),并与所述第一转动轮(71)连接,以控制所述第一转动轮(71)转动从而带动所述传送带(73)运动,所述传送带(73)通过所述结合部(31)带动所述定位件(3)沿着所述导向杆(23)运动。
2.根据权利要求1所述的拉取装置(100),其特征在于,所述抓取件(4)包括连接杆(41)、第一固定板(42)和第二固定板(43);
所述连接杆(41)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸;
所述第一固定板(42)固定于所述连接杆(41)的所述另一端;
所述第二固定板(43)套设于所述连接杆(41),并与所述第二电机(6)连接。
3.根据权利要求2所述的拉取装置(100),其特征在于,所述第二电机(6)包括电机箱(61)和升降杠(62);
所述电机箱(61)固定于所述定位件(3)的容纳腔体(32)内;
所述升降杠(62)的一端与所述电机箱(61)固定连接、另一端依次穿过所述开口(24)和所述第二固定板(43)并固定于所述第一固定板(42),所述升降杠(62)与所述连接杆(41)平行。
4.根据权利要求2所述的拉取装置(100),其特征在于,所述第一固定板(42)的第一表面固定有第一夹持件(421),所述第二固定板(43)与所述第一表面相对的第二表面固定有第二夹持件(431);所述第一夹持件(421)和所述第二夹持件(431)为中部凹陷且边沿凸起的板状结构。
5.根据权利要求1所述的拉取装置(100),其特征在于,所述第一承载部(21)的外侧壁开设有连接孔,所述第一电机(5)的转轴穿过所述连接孔与所述第一转动轮(71)固定连接。
6.根据权利要求1所述的拉取装置(100),其特征在于,所述底座(1)包括底板(11)和支腿(12),所述支腿(12)与所述底板(11)固定连接并朝所述承载件(2)的方向延伸,所述支腿(12)包括具有插口(121)的插槽;所述承载件(2)的底壁设置有插杆(25),所述插杆(25)通过所述插口(121)插入所述插槽。
7.根据权利要求6所述的拉取装置(100),其特征在于,所述拉取装置还包括抵持件(8);所述支腿(12)开设有抵持孔(122);所述抵持件(8)部分穿过所述抵持孔(122),并与插入所述插槽内的插杆(25)抵持,通过作用于所述抵持件(8)使得所述抵持件(8)和所述插槽内的插杆(25)抵持或分离。
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