[实用新型]应用于扩散炉的拉取装置及拉取系统

说明书

本实用新型实施例涉及一种应用于扩散炉的拉取装置及拉取系统。该拉取装置包括互相之间存在连接关系的底座、承载件、定位件、抓取件、第一电机以及第二电机。其中，底座和承载件活动连接，能够实现拉取装置的高度调节，使得抓取件与石英套管的高度一致，这样能够通过抓取件对石英套管进行水平拉取，避免拉取角度倾斜导致石英套管破损。通过控制第二电机运转，能够使得抓取件对石英套管进行稳固抓取。通过控制第一电机运转，能够带动第一转动轮转动和传送带运动，使得传送带通过定位件的结合部带动定位件沿着设置在承载件的第一承载部和第二承载部之间的导向杆运动，从而实现对石英套管的平稳、等距离拉取。

技术领域

本实用新型实施例涉及半导体器件的扩散炉检测技术领域，具体而言，涉及一种应用于扩散炉的拉取装置及拉取系统。

背景技术

扩散炉是半导体生产线工序中的重要工艺设备之一。通过扩散工艺，能够将杂质元素按照设定深度掺入硅衬底中，使硅衬底具有特定的浓度分布，从而改变材料的电学特性以形成半导体。为了确保扩散工艺满足生产标准，需要对扩散炉的温度进行严格的把控。由于扩散炉的炉体需要定期更换，在更换炉体之后，需要对炉体内的石英套管进行拉取，从而通过检测石英套管内的分布热偶的温度来确定炉体的温度是否满足工艺要求。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种应用于扩散炉的拉取装置及拉取系统，能够通过拉取装置对扩散炉内的石英套管进行等距离拉取。

本实用新型实施例的第一方面，提供了应用于扩散炉的拉取装置(100)，包括：底座(1)、承载件(2)、定位件(3)、抓取件(4)、第一电机(5)和第二电机(6)；

所述底座(1)和所述承载件(2)活动连接；

所述承载件(2)设置有第一承载部(21)和第二承载部(22)，所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间设置有导向杆(23)；所述定位件(3)套设于所述导向杆(23)上；

所述抓取件(4)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述第一承载部(21)和所述第二承载部(22)之间形成的开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸；所述第二电机(6)固定于所述定位件(3)并与所述抓取件(4)的所述另一端连接，以控制所述抓取件(4)对所述石英套管进行抓取；

所述第一承载部(21)的外侧壁设置有第一转动轮(71)，所述第二承载部(22)的外侧壁设置有第二转动轮(72)，所述第一转动轮(71)和所述第二转动轮(72)上绕设有传送带(73)，所述传送带(73)与所述定位件(3)的结合部(31)固定连接；

所述第一电机(5)设置于所述第一承载部(21)，并与所述第一转动轮(71)连接，以控制所述第一转动轮(71)转动从而带动所述传送带(73)运动，所述传送带(73)通过所述结合部(31)带动所述定位件(3)沿着所述导向杆(23)运动。

优选地，所述抓取件(4)包括连接杆(41)、第一固定板(42)和第二固定板(43)；

所述连接杆(41)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿过所述开口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸；

所述第一固定板(42)固定于所述连接杆(41)的所述另一端；

所述第二固定板(43)套设于所述连接杆(41)，并与所述第二电机(6)连接。

优选地，所述第二电机(6)包括电机箱(61)和升降杠(62)；

所述电机箱(61)固定于所述定位件(3)的容纳腔体(32)内；

所述升降杠(62)的一端与所述电机箱(61)固定连接、另一端依次穿过所述开口(24)和所述第二固定板(43)并固定于所述第一固定板(42)，所述升降杠(62)与所述连接杆(41)平行。