[实用新型]一种用于溅射镀膜设备的夹具

权利要求书

1.一种用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于，包括：夹具底(1)；

固定夹件(2)，所述固定夹件(2)固定连接于所述夹具底(1)顶部的左侧；

活动夹件(3)，所述活动夹件(3)固定连接于所述夹具底(1)顶部的右侧，所述活动夹件(3)包括活动块(31)，所述活动块(31)的底部与夹具底(1)顶部的右侧滑动连接，所述活动块(31)顶部的左侧固定连接有活动滑杆(32)，所述活动块(31)顶部的右侧固定连接有活动螺纹杆(33)，所述活动滑杆(32)与活动螺纹杆(33)的顶部之间设置有活动夹(34)；

辅助夹件(4)，所述辅助夹件(4)固定连接于所述夹具底(1)的顶部。

2.根据权利要求1所述的用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于，所述活动滑杆(32)的表面套设有活动弹簧(35)，所述活动螺纹杆(33)的表面套设有活动辅助弹簧(36)，所述活动块(31)的右侧贯穿有控制杆(37)，所述活动螺纹杆(33)表面的顶部套设有活动螺帽(38)。

3.根据权利要求1所述的用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于，所述固定夹件(2)包括固定块(21)，所述固定块(21)的底部与夹具底(1)顶部的左侧固定连接，所述固定块(21)的左侧固定连接有固定滑杆(22)，所述固定块(21)顶部的右侧固定连接有固定螺纹杆(23)。

4.根据权利要求3所述的用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于，所述固定滑杆(22)与固定螺纹杆(23)的顶部之间设置有固定夹(24)，所述固定滑杆(22)的表面套设有固定弹簧(25)，所述固定螺纹杆(23)的表面套设有固定辅助弹簧(26)，所述固定螺纹杆(23)表面的顶部套设有固定螺帽(27)。

5.根据权利要求1所述的用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于，所述辅助夹件(4)包括两个竖撑板(41)，两个所述竖撑板(41)相对的一侧均通过弹性柱设置有辅助垫板(42)，两个所述竖撑板(41)相离的一侧均贯穿有固定栓(43)，所述固定栓(43)的一端与辅助垫板(42)转动连接。

6.根据权利要求1所述的用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于，所述夹具底(1)的顶部固定连接有托块(5)，所述托块(5)的顶部设置有平垫板(6)。