[实用新型]一种用于溅射镀膜设备的夹具

说明书

本实用新型提供一种用于溅射镀膜设备的夹具包括：夹具底；固定夹件，所述固定夹件固定连接于所述夹具底顶部的左侧；活动夹件，所述活动夹件固定连接于所述夹具底顶部的右侧，所述活动夹件包括活动块，所述活动块的底部与夹具底顶部的右侧滑动连接，所述活动块顶部的左侧固定连接有活动滑杆，所述活动块顶部的右侧固定连接有活动螺纹杆，所述活动滑杆与活动螺纹杆的顶部之间设置有活动夹；辅助夹件，所述辅助夹件固定连接于所述夹具底的顶部。本实用新型可以手动调节控制杆来对靶件进行固定，并且可以根据靶件的材质不同施加不同力量的压力，配合两个辅助垫板将靶件固定，夹取力度灵活可控。

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜领域，尤其涉及一种用于溅射镀膜设备的夹具。

背景技术

溅射镀膜分为射频溅射和磁控溅射的等，射频溅射是采用频率为 13.56MHZ的高频交变电场使气体放电产生等离子体，对于绝缘靶材射频溅射最具优势，磁控溅射是在阴极靶面建立跑道磁场，利用其控制二次电子运动，延长其在靶面附近的停留，增加与气体的碰撞几率，从而提高等离子体密度。

现有的溅射镀膜设备的夹具在固定靶材时，会采用两个结构相同的固定夹件，利用两个固定夹之间的弹簧将靶材固定，当靶材体积发生改变时，弹簧对靶材施加的弹力也会改变，夹取力度无法灵活控制。

因此，有必要提供一种用于溅射镀膜设备的夹具解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于溅射镀膜设备的夹具，解决了现有的溅射镀膜设备的夹具夹取力度无法灵活控制的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种用于溅射镀膜设备的夹具，包括：夹具底；

固定夹件，所述固定夹件固定连接于所述夹具底顶部的左侧；

活动夹件，所述活动夹件固定连接于所述夹具底顶部的右侧，所述活动夹件包括活动块，所述活动块的底部与夹具底顶部的右侧滑动连接，所述活动块顶部的左侧固定连接有活动滑杆，所述活动块顶部的右侧固定连接有活动螺纹杆，所述活动滑杆与活动螺纹杆的顶部之间设置有活动夹；

辅助夹件，所述辅助夹件固定连接于所述夹具底的顶部。

优选的，所述活动滑杆的表面套设有活动弹簧，所述活动螺纹杆的表面套设有活动辅助弹簧，所述活动块的右侧贯穿有控制杆，所述活动螺纹杆表面的顶部套设有活动螺帽。

优选的，所述固定夹件包括固定块，所述固定块的底部与夹具底顶部的左侧固定连接，所述固定块的左侧固定连接有固定滑杆，所述固定块顶部的右侧固定连接有固定螺纹杆。

优选的，所述固定滑杆与固定螺纹杆的顶部之间设置有固定夹，所述固定滑杆的表面套设有固定弹簧，所述固定螺纹杆的表面套设有固定辅助弹簧，所述固定螺纹杆表面的顶部套设有固定螺帽。

优选的，所述辅助夹件包括两个竖撑板，两个所述竖撑板相对的一侧均通过弹性柱设置有辅助垫板，两个所述竖撑板相离的一侧均贯穿有固定栓，所述固定栓的一端与辅助垫板转动连接。

优选的，所述夹具底的顶部固定连接有托块，所述托块的顶部设置有平垫板。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种用于溅射镀膜设备的夹具具有如下有益效果：

本实用新型提供一种用于溅射镀膜设备的夹具在固定靶件时，可以与预先调节固定夹和活动夹的上下高度，使其可以将靶件固定的更加牢固，并且在固定过程中可以手动调节控制杆，使整个活动夹件向固定件移动，此时活动夹往固定架的方向移动，直到将靶件固定为止，通过旋动的方法可以控制固定夹和活动夹对靶件按压的力度，有效防止靶件出现印痕或者挤压损坏的情况，并且两个辅助垫板能够配合固定夹和活动夹将靶件固定，固定效果更好，本装置可以手动调节控制杆来对靶件进行固定，并且可以根据靶件的材质不同施加不同力量的压力，配合两个辅助垫板将靶件固定，夹取力度灵活可控。

附图说明