[实用新型]一种双面抛光机压布装置有效
| 申请号： | 202021325899.1 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN212887041U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 苏鹏辉 | 申请（专利权）人： | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B45/00 | 分类号： | B24B45/00;B24B37/34 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 311201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双面 抛光机 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种双面抛光机压布装置，其特征在于：包括下转盘（1），所述的下转盘（1）上设有与下转盘（1）相螺栓连接固定的上压盘（4），所述的上压盘（4）与下转盘（1）间设有若干呈等间距环形分布的压布滚轮组件（3），所述的压布滚轮组件（3）与下转盘（1）间设有与下转盘（1）相轴承式嵌套的压布定盘（2）；所述的压布滚轮组件（3）包括碾辊（6），所述的碾辊（6）两端设有与碾辊（6）相插嵌式限位套接的限位件（5）。
2.根据权利要求1所述的一种双面抛光机压布装置，其特征在于：所述的限位件（5）包括限位块（11），所述的限位块（11）与碾辊（6）间均设有与限位块（11）呈一体化焊接的花键插杆（10）。
3.根据权利要求2所述的一种双面抛光机压布装置，其特征在于：所述的限位块（11）上设有与花键插杆（10）相嵌套的过渡轴套（9）。
4.根据权利要求2所述的一种双面抛光机压布装置，其特征在于：所述的碾辊（6）包括研磨棍（7），所述的研磨棍（7）两端设有与花键插杆（10）相插嵌式套接的内花键轴承（8）。
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