[实用新型]一种双面抛光机压布装置有效
申请号: | 202021325899.1 | 申请日: | 2020-07-08 |
公开(公告)号: | CN212887041U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 苏鹏辉 | 申请(专利权)人: | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
主分类号: | B24B45/00 | 分类号: | B24B45/00;B24B37/34 |
代理公司: | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人: | 沈相权 |
地址: | 311201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双面 抛光机 装置 | ||
本实用新型涉及一种双面抛光机压布装置,所属双面研磨抛光机技术领域,包括下转盘,所述的下转盘上设有与下转盘相螺栓连接固定的上压盘,所述的上压盘与下转盘间设有若干呈等间距环形分布的压布滚轮组件,所述的压布滚轮组件与下转盘间设有与下转盘相轴承式嵌套的压布定盘。所述的压布滚轮组件包括碾辊,所述的碾辊两端设有与碾辊相插嵌式限位套接的限位件。具有结构简单、稳定性好、受力均匀度好和省时省力的特点。解决了压布过程中出现粘接不牢和空鼓的问题。
技术领域
本实用新型涉及双面研磨抛光机技术领域,具体涉及一种双面抛光机压布装置。
背景技术
目前,双抛机更换完PAD后,设备运行程序压布后,要进行人工压布。程序压布的粘接,易出现粘接不牢,空鼓等。无法达到加工生产要求,现状是只能采用人工进行压布,手持压布滚轮进行压布,达到使用效果,但是增加人力成本,增加压布时长。
发明内容
本实用新型主要解决现有技术中存在稳定性差、受力均匀度差和费时费力的不足,提供了一种双面抛光机压布装置,其具有结构简单、稳定性好、受力均匀度好和省时省力的特点。解决了压布过程中出现粘接不牢和空鼓的问题。
本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:
一种双面抛光机压布装置,包括下转盘,所述的下转盘上设有与下转盘相螺栓连接固定的上压盘,所述的上压盘与下转盘间设有若干呈等间距环形分布的压布滚轮组件,所述的压布滚轮组件与下转盘间设有与下转盘相轴承式嵌套的压布定盘。所述的压布滚轮组件包括碾辊,所述的碾辊两端设有与碾辊相插嵌式限位套接的限位件。
作为优选,所述的限位件包括限位块,所述的限位块与碾辊间均设有与限位块呈一体化焊接的花键插杆。
作为优选,所述的限位块上设有与花键插杆相嵌套的过渡轴套。
作为优选,所述的碾辊包括研磨棍,所述的研磨棍两端设有与花键插杆相插嵌式套接的内花键轴承。
本实用新型能够达到如下效果:
本实用新型提供了一种双面抛光机压布装置,与现有技术相比较,具有结构简单、稳定性好、受力均匀度好和省时省力的特点。解决了压布过程中出现粘接不牢和空鼓的问题。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的结构剖视图。
图3是本实用新型中的碾辊的结构剖视图。
图4是本实用新型中的限位件的结构示意图。
图中:下转盘1,压布定盘2,压布滚轮组件3,上压盘4,限位件5,碾辊6,研磨棍7,内花键轴承8,过渡轴套9,花键插杆10,限位块11。
具体实施方式
下面通过实施例,并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
实施例:如图1-4所示,一种双面抛光机压布装置,包括下转盘1,下转盘1上设有与下转盘1相螺栓连接固定的上压盘4,上压盘4与下转盘1间设有3套呈等间距环形分布的压布滚轮组件3,压布滚轮组件3与下转盘1间设有与下转盘1相轴承式嵌套的压布定盘2。压布滚轮组件3包括碾辊6,碾辊6包括研磨棍7,研磨棍7两端设有与花键插杆10相插嵌式套接的内花键轴承8。碾辊6两端设有与碾辊6相插嵌式限位套接的限位件5。限位件5包括限位块11,限位块11上设有与花键插杆10相嵌套的过渡轴套9。限位块11与碾辊6间均设有与限位块11呈一体化焊接的花键插杆10。
综上所述,该双面抛光机压布装置,具有结构简单、稳定性好、受力均匀度好和省时省力的特点。解决了压布过程中出现粘接不牢和空鼓的问题。
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