[实用新型]防止冷点偏移装置以及光学晶体生长设备有效

专利信息
申请号: 202021330222.7 申请日: 2020-07-08
公开(公告)号: CN212713843U 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 杨勇;赖维明 申请(专利权)人: 成都东骏激光股份有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20;C30B28/10
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 毕翔宇
地址: 611600 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 防止 冷点 偏移 装置 以及 光学 晶体生长 设备
【说明书】:

本申请涉及光学晶体生长设备技术领域,尤其是涉及一种防止冷点偏移装置以及光学晶体生长设备。一种防止冷点偏移装置,包括:坩埚、固定构件以及加热件;坩埚设置在所述固定构件上,加热件环绕所述坩埚设置;固定构件能够固定坩埚以使坩埚与加热件同轴。本申请中利用固定构件固定坩埚,使得坩埚与所述加热件同轴,即保证了坩埚的轴线与加热件发出热量构成的温场的轴线重合,从而确保晶体的冷点不偏移,有利于引晶和放肩,保证了坩埚内的晶体各处生长速率一致。

技术领域

本申请涉及光学晶体生长设备技术领域,尤其是涉及一种防止冷点偏移装置以及光学晶体生长设备。

背景技术

光学晶体提拉法生长过程中坩埚放置在坩埚托上,现有的坩埚托为平面,在实际安装过程中,操作人员根据参照物对坩埚的位置进行调整,调整过程中往往存在误差,导致坩埚轴心偏离温场轴心,使得晶体的冷点偏移进而导致引晶困难、不均匀放肩和晶体各处生长速率不一致等问题。

因此,亟需一种防止冷点偏移装置以及光学晶体生长设备,在一定程度上以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种防止冷点偏移装置以及光学晶体生长设备,在一定程度上解决了现有技术中坩埚轴心偏离温场轴心的技术问题。

本申请提供了一种防止冷点偏移装置,包括:坩埚、固定构件以及加热件;

所述坩埚设置在所述固定构件上,所述加热件环绕所述坩埚设置;

所述固定构件能够固定所述坩埚以使所述坩埚与所述加热件同轴,

所述固定构件包括托盘以及第一固定部;

所述第一固定部沿所述托盘的周向设置在所述托盘的边沿,以使所述第一固定部与所述托盘之间形成有第一安装空间,所述坩埚的底部坐落在所述第一安装空间内,所述第一安装空间用于固定所述坩埚。

在上述任一技术方案中,进一步地,还包括钼圆筒,所述钼圆筒环绕所述加热件设置,所述钼圆筒能够将所述加热件发出的热反射并聚集至所述坩埚上。

在上述任一技术方案中,进一步地,还包括固定筒,所述固定筒套设在所述坩埚的外侧壁。

在上述任一技术方案中,进一步地,所述固定构件还包括第二固定部;

所述第二固定部沿所述第一固定部的周向设置在所述第一固定部的边沿,以使所述第二固定部与所述第一固定部之间形成有第二安装空间,所述固定筒的底部位于所述第二安装空间内,所述第二安装空间用于固定所述固定筒。

在上述任一技术方案中,进一步地,还包括底座,所述加热件、所述钼圆筒以及所述坩埚均设置在所述底座上。

在上述任一技术方案中,进一步地,所述固定构件还支撑座,所述支撑座的一端设置在所述底座上,且另一端连接所述托盘;

所述支撑座、所述托盘以及所述加热件同轴设置。

在上述任一技术方案中,进一步地,所述固定筒为石英固定筒。

在上述任一技术方案中,进一步地,所述加热件为加热器。

本申请还提供一种光学晶体生长设备,包括上述的防止冷点偏移装置。

与现有技术相比,本申请的有益效果为:

本申请提供了一种防止冷点偏移装置,包括:坩埚、固定构件以及加热件;所述坩埚设置在所述固定构件上,所述加热件环绕所述坩埚设置;所述固定构件能够固定所述坩埚以使所述坩埚与所述加热件同轴。

具体地,本申请中利用固定构件固定坩埚,使得所述坩埚与所述加热件同轴,即保证了所述坩埚的轴线与所述加热件发出热量构成的温场的轴线重合,从而确保晶体的冷点不偏移,有利于引晶和放肩,保证了坩埚内的晶体各处生长速率一致。

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