[实用新型]衬底支撑件

权利要求书

1.一种衬底支撑件，包括：

主体，所述主体具有中心；

支撑表面，所述支撑表面在所述主体上，所述支撑表面被配置为至少部分地支撑衬底；

第一成角度壁，所述第一成角度壁远离所述中心向上且径向向外延伸；

第一上表面，所述第一上表面设置在所述支撑表面上方；

第二成角度壁，所述第二成角度壁远离所述中心向上且径向向外延伸，所述第一上表面设置在所述第一成角度壁与所述第二成角度壁之间；以及

第二上表面，所述第二上表面设置在所述第二成角度壁外面，所述第二上表面设置在所述第一上表面上方。

2.如权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述第一上表面和所述第二上表面平行于所述支撑表面。

3.如权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述第一成角度壁开始于距所述主体的所述中心的第一距离处，所述第二成角度壁开始于距所述主体的所述中心的第二距离处，并且所述第二距离与所述第一距离之间的差值限定所述第一成角度壁和所述第一上表面的第一步宽。

4.如权利要求3所述的衬底支撑件，其中所述第一步宽由所述第一步宽相对于所述第一距离的比率限定，并且所述比率为0.3或更小。

5.如权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述第一成角度壁以第一角度向上且径向向外延伸，并且所述第二成角度壁以第二角度向上且径向向外延伸，其中所述第二角度小于所述第一角度。

6.如权利要求5所述的衬底支撑件，其中所述第一角度在30度至90度的范围内，并且所述第二角度在5度至60度的范围内。

7.如权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述第一上表面设置在所述支撑表面上方的第一距离处，并且所述第二上表面设置在所述支撑表面上方的第二距离处，所述第一距离在0.005英寸至0.050英寸的范围内，并且所述第二距离在0.050英寸至0.5英寸的范围内。

8.一种衬底支撑件，包括：

主体，所述主体具有中心；

支撑表面，所述支撑表面在所述主体上，所述支撑表面被配置为至少部分地支撑衬底；

第一成角度壁，所述第一成角度壁向上且径向向外延伸；

半径，所述半径将所述第一成角度壁过渡到设置在所述支撑表面上方的第一上表面；

第二成角度壁，所述第二成角度壁向上且径向向外延伸，所述第一上表面设置在所述半径与所述第二成角度壁之间；以及

第二上表面，所述第二上表面设置在所述第二成角度壁的外面，所述第二上表面设置在所述第一上表面上方。

9.如权利要求8所述的衬底支撑件，其中所述支撑表面、所述第一成角度壁、所述半径、所述第一上表面、所述第二成角度壁和所述第二上表面与所述主体一体地形成。

10.如权利要求8所述的衬底支撑件，进一步包括第二半径，所述第二半径将所述支撑表面过渡到所述第一成角度壁。

11.如权利要求8所述的衬底支撑件，进一步包括第二半径，所述第二半径将所述第二成角度壁过渡到所述第二上表面。

12.如权利要求8所述的衬底支撑件，进一步包括第二半径，所述第二半径将所述第一上表面过渡到所述第二成角度壁。

13.如权利要求8所述的衬底支撑件，其中所述半径在0.010英寸至0.020英寸的范围内。

14.如权利要求8所述的衬底支撑件，其中所述第一上表面设置在所述支撑表面上方一定距离处，所述距离在0.005英寸至0.050英寸的范围内。