[实用新型]一种硅片清洗机用抛动装置

权利要求书

1.一种硅片清洗机用抛动装置，其特征在于，包括底座、电机支架、电机、减速器、偏心轮、动力横杆、上支架、背板、抛动孔、滑杆、限位机构、开关支架、行程开关、抛动臂、垫块，所述底座上固定安装有电机支架，所述电机支架上固定安装有电机，所述电机的输出轴与减速器相连，所述减速器的输出轴上安装有偏心轮；

所述底座上方设有上支架，所述上支架通过背板与底座相连接，所述底座与上支架之间安装有滑杆，所述滑杆上设有限位机构；

所述限位机构又包括机构底板、限位块、限位孔，所述机构底板的上、下两端对称设有限位块，所述限位块上开有限位孔，所述滑杆纵向穿过限位孔；

与限位机构水平的位置设有动力横杆，所述动力横杆与机构底板固定连接，所述动力横杆底部与偏心轮对应的位置处设有垫块；

所述动力横杆前侧与动力横杆垂直安装有抛动臂，所述抛动臂的数量为N个，N≥1，所述背板上与抛动臂对应的位置设有抛动孔，所述抛动臂一端穿过抛动孔与动力横杆固定连接；

所述动力横杆下侧的背板上固定安装有开关支架，所述开关支架上设有行程开关，所述行程开关与PLC控制系统电连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用抛动装置，其特征在于，所述滑杆与限位机构的限位孔之间涂敷有润滑油。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用抛动装置，其特征在于，所述垫块的材质为耐磨陶瓷。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用抛动装置，其特征在于，所述垫块上涂敷有润滑油。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用抛动装置，其特征在于，所述偏心轮位于最低点时，所述动力横杆底部与行程开关相接触。