[实用新型]一种硅片清洗机用抛动装置

说明书

一种硅片清洗机用抛动装置，包括底座、电机支架、电机、减速器、偏心轮、动力横杆、上支架、背板、抛动孔、滑杆、限位机构、开关支架、行程开关、抛动臂、垫块，底座上固定安装有电机支架，电机支架上固定安装有电机，电机的输出轴与减速器相连，减速器的输出轴上安装有偏心轮，底座上方设有上支架，上支架通过背板与底座相连接，底座与上支架之间安装有滑杆，滑杆上设有限位机构，动力横杆下侧的背板上固定安装有开关支架，开关支架上设有行程开关，行程开关与PLC控制系统电连接。本实用新型优化了整个硅片清洗机的运行过程，提升了单晶硅片在清洗工序中的安全系数,也更利于机械手提取和放置硅片工装的联动控制，提升了系统的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及一种抛动装置，尤其涉及一种硅片清洗机用抛动装置。

背景技术

随着清洗行业的不断发展，越来越多的行业和企业运用到了超声波清洗机。单晶硅片加工过程中，需经过清洗的工序，此工序用超声波清洗机进行，超声波清洗机原理是由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质－－清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50-500μm 的微小气泡，存在于液体中的微小气泡在声场的作用下振动。这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区，当声压达到一定值时，气泡迅速增大，然后突然闭合。并在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压，破坏不溶性污物而使他们分散于清洗液中，当团体粒子被油污裹着而黏附在清洗件表面时，油被乳化，固体粒子及脱离，从而达到清洗件净化的目的。为了达到更好的清洗效果，加入了抛动装置，为了更好的提升操作自动化，现在单晶硅片清洗机多集成了机械手放置单晶硅片工装、超声波清洗、抛动装置和机械手提取单晶硅片工装，统一由PLC控制。

现有的单晶硅片清洗机系统中，抛动装置由PLC控制开启关闭，关闭方式为通过接触器使抛动装置断电。这种抛动装置的关闭方式，使得抛动装置停止时的位置不确定、不稳定，不利于与机械手装置的相互配合，由于抛动装置停止时不一定停止在最低位，使得抛动装置处于一种非稳态状态，在抛动装置再次开启时，可能造成抛动装置抛动速度过快，进而损坏单晶硅片。

发明内容

根据以上技术问题，本实用新型提供一种硅片清洗机用抛动装置，包括底座、电机支架、电机、减速器、偏心轮、动力横杆、上支架、背板、抛动孔、滑杆、限位机构、开关支架、行程开关、抛动臂、垫块，所述底座上固定安装有电机支架，所述电机支架上固定安装有电机，所述电机的输出轴与减速器相连，所述减速器的输出轴上安装有偏心轮；

所述底座上方设有上支架，所述上支架通过背板与底座相连接，所述底座与上支架之间安装有滑杆，所述滑杆上设有限位机构；

所述限位机构又包括机构底板、限位块、限位孔，所述机构底板的上、下两端对称设有限位块，所述限位块上开有限位孔，所述滑杆纵向穿过限位孔；

与限位机构水平的位置设有动力横杆，所述动力横杆与机构底板固定连接，所述动力横杆底部与偏心轮对应的位置处设有垫块；

所述动力横杆前侧与动力横杆垂直安装有抛动臂，所述抛动臂的数量为N个，N≥1，所述背板上与抛动臂对应的位置设有抛动孔，所述抛动臂一端穿过抛动孔与动力横杆固定连接；

所述动力横杆下侧的背板上固定安装有开关支架，所述开关支架上设有行程开关，所述行程开关与PLC控制系统电连接。

进一步的，所述滑杆与限位机构的限位孔之间涂敷有润滑油。

进一步的，所述垫块的材质为耐磨陶瓷。

进一步的，所述垫块上涂敷有润滑油。

进一步的，所述偏心轮位于最低点时，所述动力横杆底部与行程开关相接触。